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petabab2005

目前使用直流磁控濺鍍在玻璃基板表面沉積ITO透明導電膜，研究超薄的
ITO膜厚從2nm到100nm的電阻率、穿透率、微觀結構、表面粗糙度等薄膜特性，
以及探討在觸控面板上的環境耐久性與ITO鍍膜製程的關係。