半导体微电子传感器技术 今日: 0|主题: 1323|排名: 6 

王永泉[1] 陈花玲[1] 彭倍[2] 朱子才[1] [1]西安交通大学机械工程学院[2]电子科技大学机电工程学院 为实现MEMS产品的快速设计和性能验证,在借鉴其结构化设计思想即节点分析法的基础上,提出了一种与常规信号流类比不同,适于集成微机电系统快速仿真的等效电路建模思路和方法。首先,对系统及MEMS器件进行功能及结构分解;然后, ...

高鹏 李晓莹 乔大勇 姚贤旺 臧博 西北工业大学陕西省微／纳米系统重点实验室 半导体同位素电池由于其寿命长、集成性优良、环境适应性强等特点成为解决MEMS能源问题的理想手段。利用4H-SiC材料的宽禁带特性，制造了4H-SiC肖特基同位素电池。对电池的耗尽层厚度以及掺杂浓度进行了优化设计，对肖特基金属进行了选择。使用4mC ...

开展了一种基于MEMS工艺的毫米波带通滤波器结构设计和工艺实现，该滤波器结构采用高阻硅作为衬底材料的薄膜支撑结构，选用平行耦合滤波器形式，使用HFSS分析软件对该结构进行了模拟仿真。设计了中心频率为35．0GHz、带内损耗为2．2dB、30dB抑制带宽为2．2GHZ的MEMS毫米波滤波器。给出了一套能降低毫米波损耗的MEMS毫米波带 ...

高动态、恶劣温度环境下,微小型飞行器（MAV）导航、制导与控制系统关键器件微机电系统（MEMS）陀螺受温度和转速耦合影响,其标度因数误差呈强非线性特点,常规方法无法精确补偿。通过分析MEMS陀螺标度因数误差的产生机理,建立了包含温度和转速非线性因素的标度因数误差模型,提出一种基于径向基（RBF）神经网络的标度因数非线 ...

针对智能化网络化传感器与蒙皮式传感器阵列交叉和发展的趋势．将柔性封装技术与智能结构相结合．针对飞行器风洞实验过程中测试数据复杂并且无法进行实际飞行实验的现状．设计一种新型的MEMS压力传感器阵列数据高速传输总线。并对其进行加工、校准，最后将其应用在实际的气动参数测试系统中。 ...

高宗余 李德胜北京工业大学机电学院 提出利用多个MEMS传感器组合定姿的方法，该方法利用加速度计的输出判断载体运动状态，采用EKF滤波算法对其状态进行估计，并在滤波算法中应用加速度计和磁强计组合计算所得的姿态信息作为对陀螺漂移的补偿，最后通过数据融合修正其姿态角。 ...

文章针对微机械（MEMS）器件中常用的微弱信号检测技术进行了简单的介绍。针对MEMS器件中微弱信号检测所使用的理论方法进行了总结分析，并提出了一些典型、实用的MEMS微弱信号检测电路。

石静 缪玲娟 高伟熙 北京理工大学自动化学院 为了提高MEMS惯导系统的速度解算精度，提出了采用高精度的数值积分算法提取该系统的角增量和速度增量信号，并将其代人到适用于传统捷联惯导系统的典型速度算法中解算．仿真结果证实新算法比目前已有算法精度高，计算量小． ...

介绍了应用于通信领域的电容式RFMEMS谐振器及其在通信系统小型化中的优势。对电容式微机械谐振器进行了综合分析，包括基本工作过程分析、基本参数的理论分析及等效电路的分析。介绍了目前几种常用结构的谐振器，包括梳状谐振器、梁式谐振器及盘式谐振器的工作过程和谐振频率的发展空间。重点分析了谐振器的电容间隙及锚这两 ...

由于MEMS器件使许多新产品成为了可能，因此MEMS领域在未来几年将迅速发展。未来5年，消费产品（如Wii、iPhone、PicoP皮投影仪等）将会带来17％的平均增长。汽车市场将会有几个百分点的适度增长，而无线通信和生物医药领域的增长将会加倍。随着该领域的健康发展，越来越多MEMS制造商的产品量会迅速增加，这将增加对生产工具 ...

赵安 种银保 第三军医大学新桥医院设备科 微泵是微机电系统（MEMS）中重要的执行器件，在多个学科中发挥着重要作用。根据微泵的驱动方式，综述了近年国内外出现的各种机械式和非机械式微泵的原理和相应的性能，并简要总结了微泵选型需要注意的主要指标，对其应用前景进行了展望。 ...

李晨[1] 张鹏[1] 李松法[2] [1]中国电子科技集团公司战略规划部,[2]中国电子科技集团公司第13研究所,石家庄050051 概要介绍了芯片级集成微系统的内涵和近期发展态势，分析了它的技术特点，对相关的新技术、新结构和新器件的技术问题作了初步的分析与探讨，为发展新一代微小型电子武器系统提供一部分技术信息。 ...

贾翠萍 朱海丰中国石油大学（华东）物理科学与技术学院 对MEMS光开关的悬臂驱动结构进行了设计，考虑到采用湿法腐蚀技术制作的微反射镜与设计尺寸偏差较大，会对光开关的性能产生一定影响，提出了一种扭臂和微反射镜相平行的光开关悬臂驱动结构，该种结构能够实现大面积微反射制作的同时，而不提高光开关的驱动电压，具有 ...

作者：陈炳欣 早在半个世纪之前即被开发出来的微机电系统（MEMS），因为技术门坎过高，成功的商业化案例一直寥寥，直至数年前任天堂在其游戏机Wii中导入加速度传感器（g-sensor）大获成功，才正式开启了MEMS组件大举进军消费电子市场的征程。 ...

蒋海涛[1,2] 郭战营[2] [1]西北工业大学电子信息学院,陕西西安710072 [2]焦作师范高等专科学校,河南焦作454001 根据MEMS加速度传感器的工作原理和特点，研究了一种基于MEMS三轴加速度传感器和C805IF352单片机的飞行器倾角测量系统的实现方法；介绍了倾角的测量原理及整体框架，重点阐述了系统的硬件电路设计和软件设计 ...

李国良 贵州大学电子信息技术实验室 为了满足对大型设备水平倾角快速精确测量的要求，介绍了加拿大MCS公司生产的SANGl000高精度倾角传感器的特性、工作模式、命令格式、操作方法，并给出了与单片机构成的测量系统的硬件应用实例、软件流程及部分参考程序，提出了一种新型倾角测量的设计方案。达到良好的实际测量结果。 ...

搜集了一些mems相关的资料，共享一下，希望能帮上忙

据美国《军用航宇电子》网站2010年5月30日报道，当前激光武器正在进行相关试验并有望在不久的将来装备部队。军用激光的发展经历了很长的一段历史，涉及激光测距、激光雷达、激光目标指示器以及激光干扰等方面。现在激光应用的范围已由传感器扩展到武器领域。 激光制导武器 上世纪60年代初期，美国首先研制了激光制导武器 ...

MEMS技术大牛 Ming C Wu先生《Current Trends in Optical MEMS》

M2M表达的是多种不同类型的通信技术有机的结合在一起：机器之间通信；机器控制通信；人机交互通信；移动互联通信。 M2M让机器，设备，应用处理过程与后台信息系统共享信息，并与操作者共享信息。 它提供了设备实时地在系统之间、远程设备之间、或和个人之间建立无线连接，传输数据的手段。M2M技术综合了数据采集、GPS ...

微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology）基础上的21世纪前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种 微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的 ...

本文将向各用户简要介绍应用于光纤通讯领域的微电机芯（ MEMS）技术。希望通过本文的介绍能让读者对其技术特征和 发展趋势有初步的了解。 一、概述 MEMS技术的英文全称是: Micro-Electro-Mechanical Syst ems，一般也称作微机电系统技术，其含义是指可批量制作 的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和 控制 ...

请问北京哪里可以做红外火焰传感器的光学系统？如果做反射式的光学系统，整个体积会有多大呢？价钱大概是多少钱啊？多谢指教了。

Optical MEMS for information technologies

A hybrid-assembled MEMS Fabry-Pérot wavelength tunable filter

Materials issues in microelectromechanical devices science, engineering, manufacturability and reliability

　　赛迪顾问通信产业研究中心 余周军 　　2009年8月7日下午，温家宝总理在中科院无锡高新微纳传感网工程技术研发中心考察时指出要大力发展传感网，掌握核心技术，并指出“把传感系统和3G中的TD技术结合起来”。一时间，传感网成为电子信息领域中的热门话题。传感网，或者说物联网的概念与泛在网络联系起来，传感网被认为是 ...

新手请问下北京哪里可以做红外火焰传感器的光学系统？多谢指教了~

最近研究了一下Laser diode的内部模式和输出光场特性，很多是自己的想象和理解，欢迎有兴趣的人在这里讨论，批评。 把单横模和单纵模laser diode发射腔当做二维波导，那么内部存在的模式为TE模式，还是TM模式呢？如果有源层上下的包覆层可以等效为电介质包覆层，那么二维平板波导内部存在的模式单模必定是TE0模，但是如果包 ...

MEMS市场展现成长良机 作者：Paula Doe, Contributing Editor, SEMI, San Jose -- Semiconductor International 2009-06-26 点击:926 The MEMS industry is facing the first ever pause in its expansion, as sales slipped some 2% in 2008 to $6.8B, and will likely see $28M. MEMS markets are expected ...

Optical MEMS Introduction

记者从中国南车股份有限公司获悉，中国最大的大尺寸功率半导体器件工业基地日前在南车旗下的株洲南车时代电气正式投产。该基地的投产，打破了国外对高端半导体器件技术和市场的垄断，将推动国产化大功率半导体器件的工业化进程。 大尺寸功率半导体器件被广泛用于轨道交通、电力（高压直流输电、风力发电）、化工、冶炼等 ...

MEMS(Micro Electromechanical System，即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。概括起来，MEMS具有以下几个基本特点，微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产。 MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元 ...

WSS可以算是MEMS技术在光通信系统中最经典的应用了，分享资料《1 × N2 Wavelength-Selective Switch With Two Cross Scanning One-Axis Analog Micromirror Arrays in a 4f optical system》 期待国产WSS

5200-Series 64 x 64 MEMS Lucent旗下Aegre System

分享关于MEMS的资料,PPT文件,希望对大家有所帮助.

消费性应用推动，2009增至80亿美元 来自InformationNetwork的数据表示，2008年全球MEMS器件出货量增长25%，达到25亿颗，营收也随之增长11%左右，接近78亿美元。该公司预计，到2012年MEMS市场总额将会达到154亿美元，而消费类电子仍将占据46%的份额，消耗掉价值为71亿美元的MEMS器件。“MEMS已经成为喷墨打印机以及数码相 ...

得益于任天堂Wii和苹果iPhone等产品的成功，芯片厂商发现了运动感应芯片在便携式电子产品中的潜力。 台积电援引独立报告指出，“微电子机械系统”（MEMS）设备市场规模今年可能达到73亿美元，到2011年市场规模达到110亿美元。 这种系统能够使用加速感应装置感知运动。 索尼也在Rolly MP3播放器中加入了这种装置，用户能 ...