maplefeng 发表于 2010-2-24 18:00:56

ZYGO能否检测平行度1秒的产品

各位大侠：我们现在有一款产品需要检测其平行度。要求是在1秒以内
我们现在所用的测量方法是用ZYGO来测，但发现其重复性太差。不知道要用什么方法能够将其改进。
或者不用ZYGO的话可以用什么方法测量？
请大侠们指教。
灰常感谢！！！！！！！！

maplefeng 发表于 2010-2-25 13:02:01

兄弟姐妹们帮忙一下哈

workhard 发表于 2010-3-3 21:09:28

可以测的，看你的夹具和测量人员的水平了，我测过。ZYGO来测平行度在1秒的产品是有点难。被测面和夹具面要清洗的非常干净，就这些。

maplefeng 发表于 2010-3-16 18:39:32

回复 3# workhard
产品干净这是一点，
还有就是环境。保持一个安静，温度适宜的环境也是很重要的。
但我们测量的重复性大约会在0.3-0.5秒这样。不知道能不能再提高了。
还有就是ZYGO本身有自带一个去除环境影响的功能。即空测时去除噪音，不知道这个功能是不是得到大家的认可了。
谢谢你的回答。

jiahaoweilai 发表于 2010-3-17 21:36:01

可以通过上下表面的干涉条纹来计算,,,加波长,,,,,,,,透过率

maplefeng 发表于 2010-3-18 14:21:58

回复 5# jiahaoweilai

结果是可以得出来的。但就是不知道这个结果是否准确。

qunying12 发表于 2010-4-18 10:58:23

本帖最后由 qunying12 于 2010-4-18 11:18 编辑

可以，标准镜稍稍移除，利用前后面自身的干涉就行。

solarich 发表于 2010-6-17 10:58:39

ZYGO 就行，环境很关键

yangshaojun 发表于 2010-6-17 20:12:41

产品和夹具的洁净度以及温度等因素控制好的话是可以测量的

szlsft 发表于 2010-7-15 20:32:50

请教一下了 ， 测量的精度到底是多少呢

snake007 发表于 2010-7-16 11:05:52

可以测量到，仪器需要在一定环境下，比如空气的流动，台子的震动等因素排出掉！

liweiiivi 发表于 2010-7-16 22:27:44

直接问ZYGO上海公司他的测量精度
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