光电社区 › 光学镀膜技术及膜系设计 › 离子源原理资料

水边鹤 发表于 2009-10-21 21:29:34

学习看能不能把离子源拆开再装上，呵呵

Daocaoren 发表于 2009-11-4 12:36:33

看来楼主对离子源还是比较熟的,不知道您知不知道哪里可以买到Mark II的零配件,我们这之前的供应商的价钱比较高,相信你知道象Tip,Keeper 还有Gas Distributor用一段时间就要更换，成本比较高，我们想看看还有没有便宜的．谢谢！

jixiaoming 发表于 2009-11-5 15:26:51

好东西，学习学习哈
，，，，，，，，，，，，，，，，

Ion.source 发表于 2009-11-6 11:08:13

To Wazxq:我以前有Mark II HECS电子版的结构图,但是现在找不到了，原理其实就是直流放电，大概过程是：充4个9以上的纯氩气，在Tip和Keeper之间加一个1000伏的脉冲电压来点火，如果一次没有起辉，可能脉冲电压要加几次，直到起辉，然后他们之间的电压会降低到几十伏，来维持一个稳定的放电来满足Beam电流的中和。
   这里的核心技术是他的Tip，也是我们平时说的钽管，他是起辉的关键，真正的等离子体是在这个钽管里产生的，Tip和Keeper加偏压，是有象栅网的作用，把电子拉出来。

Ion.source 发表于 2009-11-6 13:57:37

To Daocaoren:
      由于钽管工作时的温度很高,所以如果有氧气或者热的时候暴漏大气就会发生氧化,使其里面变成氧化钽,绝缘,这样中空阴极就不能起辉了,需要更换,所以要延长Tip的使用时间,就要防止热的时候有氧气.这样可以节省一些.
      我们公司的钽管都是在一家深圳的公司买的,他的邮箱是cgc55555@yahoo.com.cn,你发邮件给他要电话吧,呵呵, 我这些都是他跟我们讲的,感觉还是很有道理的.

hcatp812 发表于 2010-1-7 23:49:18

很好的学习材料,下了学习以下!感谢

likesongs 发表于 2010-2-13 21:24:33

先下了，学习学习，谢谢！！

lister3532 发表于 2010-4-20 01:43:37

希望能差到rf離子源工作原理 謝謝分享

sunmang 发表于 2010-4-27 03:54:54

确实是好东东,以前看了很多关于离子源的帖子和一些资料,但是都不如这个资料详细,我感觉看了之后,对离子源有了更清晰的理解!!!

gpx007 发表于 2010-5-7 10:51:45

先下了，学习学习，谢谢！！

wzf0602 发表于 2010-5-26 23:24:13

非常感谢！不知内容如何，先下来看看！

baron 发表于 2010-6-23 09:22:24

有没有中文的

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