都用300度间谍烤过了，最近两天做了三罩小批量，目前还没有发现脱膜现象，再做几批看看情况.............
扩散泵没有废掉真是够幸运的！！但油肯定不好了。
同意14楼的说法，
但是我觉得奇怪的是如果冷却水断了，机器应该报警的，就算是最古老的机器都应该有这个功能吧，镀膜机设计时这是很关键的。你还是把里边全部清洗干净吧，遇到这种事你只有清洗，而且是里边所有的部件都要喷砂，清洗，然后再用机器加热300度，烤它个3个小时，之后再看结果。
慢慢做吧！
楼上的说对了，这台南光设备都10多年了，有些功能确实不太好。不过做工艺就是要把事情解决。关键是现在要解决问题呀
都说得很好,扩散泵油一定要换,这是程序的问题.真空室也要重新清洁.
这些都是发生这种问题必须要做的事情.操作程序都是这样子的.
如果你的问题还没有解决的话，就麻烦点把能够拆的部件都拆掉，全部使用喷砂机喷砂后再加热使用吧。问题点应该是还真空时不干净的缘故咯。有些问题很微观的，只有按部就班的一个一个的做，应该会得到解决的。试试吧！
奇怪的是最近每批都有5%到10%之间这个比率在脱膜，我用的是AL2O3一层膜咧。真有点不敢相信是脱膜。
哦，说明下第批有200只左右，脱膜的只有5%－10%左右。我是很不能理解的。大家对这个问题有什么想法
脱膜的情况如何????????????/
扩散泵清洗，最好换油。真空室要彻底打扫干净。
换油，再清洗，尤其是冷阱冷凝管周围好好清洗一下！
最近一周生产情况来看，大批量做了6罩，没有发现脱膜情况，只是人个感觉膜层没有以前紧密，比较松软。或者这是否跟扩散泵油有关。大家有什么高见之处