sunyan 发表于 2009-8-23 09:48:11

镀sio2时需要充氧吗？充多少啊？

镀sio2时需要充氧吗？充多少啊？

526951749 发表于 2009-8-23 10:45:35

有的充氧有的不充,看你用的什么设备,看你的需要而定,折射率不同而已,我们蒸镀是在真空环境下,不充氧

likesongs 发表于 2009-8-23 10:54:17

学习了!mnjgvbjmbvjmgh

qlxk1026 发表于 2009-8-23 13:29:01

一般O2/AR>0.6,O2=35SCCM，AR=15SCCM

ghtzna 发表于 2009-8-23 14:43:02

基本不，   
影响不大

longmin 发表于 2009-8-23 16:45:11

其實如果採定壓力時
充的量是隨時間越來越多
只要製程條件一定
及可
這是個人的建議

jixiaoming 发表于 2009-8-24 14:11:34

二氧化硅，我个人觉的完全没有必要加氧气

zzzz 发表于 2009-8-25 08:06:03

只要产品能镀好,想加多少加多少

jinyu2100 发表于 2009-9-1 11:13:51

是PECVD or Sputtering?
我们用PECVD, SiH4+O2+Aror SiH4+N2O

lab6 发表于 2009-9-1 11:57:33

高质量的sio2膜还是需要冲一些氧的，不过需要离子辅助，提高氧的活性

zhaohn868 发表于 2009-9-1 12:13:15

二氧化硅，我个人觉的完全没有必要加氧气
看你用的什么设备,看你的需要而定,折射率不同而已

槟榔 发表于 2009-9-1 14:58:02

根据产品性能要求而定
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