jiaofuyun 发表于 2009-6-21 17:32:58

有关磁控溅射的问题

为什么直流磁控溅射只能镀金属,射频磁控溅射导体非导体都能镀,为什么射频速率低于直流溅射的十分之一????

dave327 发表于 2009-6-22 10:48:07

陶瓷材料的靶材,如果不用射频的话,镀膜膜层的附着力会有问题的。所以使用射频来加强镀膜是离子的冲击能量。

jhxxmlhk 发表于 2009-6-22 20:02:05

最近我也在研究这些东西:DC直流、直流脉冲、RF、中频等。找了点资料共享给大家。

zzzz 发表于 2009-6-23 08:23:31

直流的镀介质会中毒地

007foxhot 发表于 2009-6-23 10:51:33

学习学习~~~~~

lnliwenchao 发表于 2009-6-25 18:00:46

为什么 不能够哦下载呢 ,怎么回事呢

lixuefeng 发表于 2009-6-28 21:10:25

谢谢!!需要这样的知识

lixuefeng 发表于 2009-6-28 21:15:45

不好意思!要下载!!!

gxbm 发表于 2009-6-30 08:52:59

了解一下。。。。

nike777 发表于 2009-9-9 08:21:46

好东西,大家一起来学习

nike777 发表于 2009-9-9 08:23:35

好东西,大家一起来学习
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