ren619 发表于 2009-5-12 13:46:16

IR CUT 镀膜 求教

IR 镀膜 ，药品 一般 速率要求 多少，目前 没有 使用 离子源 ，使用晶控分光 外观
控制 都不好 .出现 红点 亮点 （使用 点光源检查 出现（150W) 使用 环形光源 （150w）看不见
，请教 除去 方法先感谢 .电子枪是否 有 影响   ，目前使用 180° 偏转的 .与 270° 的电子枪有差异么 。。机器 韩一 使用 离子源 后 满面 白点， 故没有使用ION/B

zzzz 发表于 2009-5-13 09:10:10

理论上270的优于180,具体看使用
你的设置速率是多少了?

ren619 发表于 2009-5-14 13:55:41

ti3o52.5a/s
sio2   12a/s

随风2008 发表于 2009-5-14 19:19:07

ti3o5 有点慢 sio2 有点快

ren619 发表于 2009-5-15 11:15:54

没用 离子源，TI3O5以前 用3.0，后改 2.5 的 ，主要 对外观 方面 不能 有 好的对策
用 SCHOTT基板 入 库 直接 洗净，镀膜后 20X 检查 出现 0.02~0.01的 点 ，不良；
SCHOTT 基板 出库基准 为 <0.1mm 的点 无视   ，，郁闷》》》》

gxbm 发表于 2009-5-18 15:55:34

速率不快啊，查查磨料吧，，，，，，

ren619 发表于 2009-5-19 08:32:07

离子源光驰 好 还是 莱宝的好啊

zzzz 发表于 2009-5-19 08:49:00

入库是<0.1的点,镀后发现0.01-0.02的点应该是很正常的事,谁知道基板上原来有没点

jonying 发表于 2009-5-29 21:56:50

入库是
zzzz 发表于 2009-5-19 08:49 static/image/common/back.gif
          他好像是放大了吧！20X

夏宾 发表于 2009-6-4 08:55:39

国内做具实力晶振片生产厂家,欢迎咨询. 45111585

fql3310 发表于 2009-6-5 20:05:24

TA2O5代替TIO2,SIO2环料最好,如果是那就没事了.
电子枪吸附灰尘(应该是很多灰尘的.)请每炉都清洁,具体是用氮气吹后用酒精泡,放于超声波里头超2-5分钟.
180度与270度电子枪当然有差别,270度的电子枪较好.180度的电子枪灯丝暴露在外头.起码易变脏.

fql3310 发表于 2009-6-5 20:07:53

哦,忘了说了,有加离子源的镀后满面白点的把离子源拿去吹下下不就可以了?清洗一下就OK的.
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