SiO2的速率
我现有两台国产设备,SiO2的速率做到4以上时,膜层的水煮试验就通不过(我的产品的要求是5%的盐水沸水煮20分钟),这样生产效率太低,不知何故? 你的SIO2膜料是碎料,这种膜料里头有气泡也就是残余气体(可用放大镜看).固建议用块料(或环料) 我做的东西也是用SIO2碎料,水煮有时能通过,有时就不行,不知是不是也跟这个有关系。 SIO2中含有的杂气较多. 因充分预熔. 控制好SIO2的蒸发速率.给SIO2有充分结晶时间. SIO2充分预熔?难道想把它熔成块料. 我家好像用0.7..很ok阿 我们的SIO2速率 25A/S 膜强度很好 不知道有没有更快更好的 出来比比 25,那是很强..................... 以前在APS1104上镀过,15埃/秒,膜硬度当然没问题.7楼的你用的是块料?楼主发的是膜层的水煮试验(我的产品的要求是5%的盐水沸水煮20分钟),可不是硬度实验.
VEECO的硬度会比莱宝的好. 俺镀过70埃,出来也听好的。 10# gxbm
这么快的速度,那光洁度怎么样? 那当然是不行的啦。。。。。。。。。。。
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