999520
发表于 2009-3-2 17:36:57
用柱状的SIO2应该会好点。不妨试试！不要用自动转的坩埚，用手动的！
JZNT
发表于 2009-3-3 10:29:32
我们用的是环形的，但没你说的那种情况镀完后还是平的，速度快应该不会有白点
zhangking
发表于 2009-3-3 20:52:09
楼上的你们速率稳定吗？
lukaiyan
发表于 2009-3-10 17:39:14
请问是用一种材料吗？有没有TiO2啊。我觉得和转速没有关系，一般SiO2不会有飞溅的。
longxiulin
发表于 2010-11-17 14:15:38
{:6_143:}
yezhi381009880
发表于 2010-11-18 21:20:00
你只能是在光斑大小，膜料的种类，还有坩埚转数上下功夫咯。柱状硅料光洁度的确好很多
z1206l
发表于 2010-11-19 09:18:52
楼上的是 绝对的高手啊。
z1206l
发表于 2010-11-19 09:18:56
楼上的是 绝对的高手啊。
终南子
发表于 2010-11-28 22:09:22
坩埚转速不是影响这个的决定因素,看看有没有预熔彻底