ujinlog 发表于 2009-1-6 17:09:02

重新开一个贴吧,6维高精度调节架

六维调节架被广泛用于激光器耦合对准,光纤光波导对准等领域。以MG公司为例,Melles Griot公司17MAX600系列6维精密位移平台(X, Y, Z, θx, θy, θz)及17MAX300系列3维精密位移平台(X,Y,Z)集超高的调节精度及稳定性于一身。专利设计parallel-flexure技术,使17MAX系列精密位移平台拥有明显优于同类产品的可靠性。 http://www.lamdapacific.com/editHtml/UploadFile/2008123195921526.jpg





    17 MAX 300及17 MAX 600 系列精密定位平台可配合Melles Griot公司各种手动差分驱动器(17DRV002)、步进马达驱动器(17DRV001)、及压电陶瓷驱动器(17DRV120)一起使用。







    17 MAX 系列精密定位平台中有几款已经装有内置,但通过增加外置的17DRV120 压电驱动器还可以进一步提高压电陶瓷驱动器的行程。下图 即为17 MAX 301维精密位移平台(含内置PZT驱动器)+17DRV120压电陶瓷驱动器+17DRV002手动差分驱动器的组合,这样既利用了差分驱动器的较长的行程,又得到了双倍PZT行程。

ujinlog 发表于 2009-1-6 17:18:12

本帖最后由 ujinlog 于 2009-1-6 17:20 编辑

附件是调节架精确性及误差的一些简介

文中对还对容易混淆的几个概念进行了解释

Resolution
Accuracy
Repeatability
Accuracy
Abbé Error
Cosine Error

ujinlog 发表于 2009-1-6 17:30:45

高精度调节架常用驱动器的工作原理及特性介绍
其中包括
微分型驱动器
步进马达型驱动器
压电陶瓷型驱动器

wuf 发表于 2009-12-7 16:46:08

学习了,正在搭建一个这样的平台,谢谢
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