niechunyang 发表于 2008-12-22 23:43:23

速率不稳

最近镀膜SIO2，速率很是跳动，ic/5控制的，设为10或者5都不好，上下跳动很大，不知道是怎么回事情，希望大家谈谈看法

nick107289855 发表于 2008-12-23 09:49:36

本帖最后由 nick107289855 于 2008-12-23 09:51 编辑

小聂：那就换换晶控片试试吧！或者看看探头的温度吧！有需要找我！

mangovc 发表于 2008-12-23 13:53:34

是的，新的晶振片是比旧的稳定，如果主要靠的是晶振控制膜厚那一定要主要晶振的寿命，改换就换啊~还有就是可以先预熔下啊，不过不要太过了。

280345601 发表于 2008-12-23 21:28:09

以前什么情况！？

niechunyang 发表于 2008-12-23 23:50:45

4# 280345601


该用的都用了，是不是跟电子枪有关系呢？

zzh1011 发表于 2008-12-24 14:48:32

你所说的是速率是不是没有规则的增减，这样的话，看看是否镀SIO2时有轻微的打火而应响到晶片，检查电子枪，绝缘陶瓷！

JZNT 发表于 2009-1-8 14:01:03

我这儿也有一种情况，就是在镀SiO2的刚开始时候蒸发速率从正几十到负几十，在IC/5上显示的曲线象波浪一样要几十秒的时间才稳定，请哪位高人指点一下。

JZNT 发表于 2009-1-8 14:02:53

楼主提的问题可能与冷却不好也有关系

zzzz 发表于 2009-1-8 16:01:33

先查查IC5的设置是否给改了

洪峰 发表于 2009-1-9 10:10:40

最好用石英环做啊理论理论理论

jufeng 发表于 2009-1-12 21:23:07

PID参数设置是不是不合适。

hezhiwei629 发表于 2009-1-14 09:10:51

有没有可能是材料本身的问题呢???
页: [1] 2
查看完整版本: 速率不稳