Lxykoko 发表于 2008-11-5 16:52:50

只知道物理厚度怎么用光控做呀

不知道咋算，谁能提供下公式呢？谢谢！怎么算出中心波长设定多少呢

ferry 发表于 2008-11-5 18:29:35

中心波长=4nd
用这个波长监控,只要一个极值达到就成了.

280345601 发表于 2008-11-5 23:08:02

不用考虑TooLing偏差么

qjy 发表于 2008-11-6 09:17:55

不可能一下子就没有任何偏差的，只能先按理论计算结果做实验，完了再根据实验结果进行调节

ferry 发表于 2008-11-7 14:28:16

原帖由 280345601 于 2008-11-5 23:08 发表 static/image/common/back.gif
不用考虑TooLing偏差么
这不是在给楼主说下原理吗?!还没有爬呢,就想跑啊.

破冰而出 发表于 2008-11-7 14:53:14

ND知道了不就知道了物理厚度了么‘？？？

Lxykoko 发表于 2008-11-7 15:50:22

明白了

谢谢大家,我还想知道的是用两种膜料做一个膜系,用不用先考虑TOOLING值?假设做出来曲线有漂移可以按比例移到想要的位置吗

ferry 发表于 2008-11-7 17:47:19

tooling是指工艺上的,要根据膜料来进行调节.理论与实践总有差距的.调好了,漂移就可以纠正了.(其实不能叫漂移,位置偏差更合适些.漂移多用来指因为膜层折射率等改变引起的曲线位置的变化,多半不大.)

Lxykoko 发表于 2008-11-10 12:55:47

哦

那设计膜系后，在做之前是不是一定要先把每种膜料的TOOLING值算出来再摸拟一下呀？

lukaiyan 发表于 2008-12-2 20:39:05

nd=1/4波长剩下的用软件了，还有与基板的角度有关系，需要条件确认

森林小树 发表于 2008-12-27 09:18:36

换算成光学厚度就可以了。。。。。

宇宙深处 发表于 2008-12-28 14:13:15

用公式算出膜堆之后，要考虑的就是基板到蒸发源的距离，溢镀量等因素，这些根据经验做些调整就可以了，不需要去用数学的方式来解决。
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