niechunyang 发表于 2008-9-16 20:16:05

流量不稳

最近镀膜时候离子辅助，离子源用的氩气流量总是不稳定，到十几层的时候就干脆没流量了，郁闷不知道怎样？各位见解

zhangzf 发表于 2008-9-16 22:38:49

没流量?是显示没流量,还是没有氩气进入真空室.流量不稳定时,真空度是否跟着变化?
不知你用的是什么机型及流量控制器,不好判断.手动时是否正常.

tfc 发表于 2008-9-17 10:16:05

必须描述清楚所有现象才能分析原因。
我猜是钢瓶压力调节得不合适？

warstorm 发表于 2008-9-17 16:10:41

你镀膜时是不是用的压力控制，固定真空度的？
当膜料放气，或者其他一些原因使气压升高，充气就没有了，你可以适当的将设置压力调高一点就可以了

hezhiwei629 发表于 2008-9-18 09:58:18

你所使用的离子源中氩气是在产生偏转电压的时候用到的吗？

mm4al 发表于 2008-9-19 09:50:19

请问各位
这会不会和流量设置的太大有关呢

niechunyang 发表于 2008-9-19 20:26:49

这个跟跟压力设置关系不大吧，设置合理呀，只是关掉再开就好了，是不是与 流量计有关系呀

zhangzf 发表于 2008-9-19 20:36:27

你的流量是自动控制还是手动控制的,自动控制可以通过检测流量控制器信号来判定是哪个环节出问题.
手动控制的就更简单了,换相关部件来确认.

caoooo2008 发表于 2008-9-21 20:46:18

你看看是不是流量计故障了，或者是你流量计的地线没有 正常接地。

gxbm 发表于 2008-9-22 09:15:06

流量计坏了，十有八九．

angel315 发表于 2008-10-5 13:35:07

国产流量计的故障率是比较高, 我们用进口AE公司的. 要判断是否真实进气, 要装流量显示器和气体分析仪, 好在线监控.
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