sinoint 发表于 2008-9-2 14:15:38

请教蓝宝石 Material: 0 degree Sapphire optical quality finish

请教蓝宝石 Material: 0 degree Sapphire optical quality finish 如何翻译? 是指的是材质还是表面处理啊? 6.25英寸(159mm)直径,厚度为1.5mm(+/-0.0025mm) 这样的要求国内有能加工的吗

sinoint 发表于 2008-9-2 14:37:58

以上蓝宝石晶片不是用于LED用途, 没有晶轴及定边长的要求

Joshua.Xia 发表于 2008-9-2 15:01:34

就我所知,即使是买来材料加工,国内可能没有能做的。
C面蓝宝石

sinoint 发表于 2008-9-2 17:42:57

原帖由 Joshua.Xia 于 2008-9-2 15:01 发表 static/image/common/back.gif
就我所知,即使是买来材料加工,国内可能没有能做的。
C面蓝宝石
0 degree Sapphire optical quality finish 指的是C面蓝宝石吗?是用做wafer carrier 的,不是用于LED的

Joshua.Xia 发表于 2008-9-2 19:30:35

是的,wafer carrier要求用C面很正常的,这个在2寸的上非常之多,现在很多衬底价格之所以很便宜,相当一部分就是来做这个的,以前有个0.33的双抛的就是做这个,现在已经有0.33单抛了,但是我们国内现在多数还是采用0.43单抛的

当然您的carriera具体是哪儿的就不清楚了,看这尺寸是不是LED的,应该是Ultra CMOS的,但好像又不应是C面,不过您的规格确实是C面

zhsapphire 发表于 2008-9-4 23:39:58

我的理解是蓝宝石0度光轴方向(c轴),不是C面,一般的光学抛光(80/50)就可以。我想很多公司都可以做。

sunsboy 发表于 2008-9-5 09:21:44

蓝宝石的光轴垂直与C面即C轴,与光轴夹角0度。应该单指C面的晶体。

sinoint 发表于 2008-9-5 10:19:21

原帖由 zhsapphire 于 2008-9-4 23:39 发表 static/image/common/back.gif
我的理解是蓝宝石0度光轴方向(c轴),不是C面,一般的光学抛光(80/50)就可以。我想很多公司都可以做。
多谢! 那6.25英寸(159mm)直径,厚度为1.5mm(+/-0.0025mm) 这样的要求国内很多公司都可以做吗?
光学抛光要求是双抛, 大于95%的前表面雾状小于2.5 ppm, 两面 scratch free,应该不应该有具体数值要求啊?
另外我查了一下wafer carrier好象应是衬底片载盘, 6.25英寸(159mm)直径载盘可以用来放置多个2英寸衬底片, 这样可以降低LED材料的生产成本, 不知我的理解对不对?

CD_LYS 发表于 2008-9-5 17:21:01

公差很小,不好搞定。2.5PPM这个换算过来是多少光洁啊???

Joshua.Xia 发表于 2008-9-5 18:14:15

厚度为1.5mm(+/-0.0025mm) ,就这个,TTV要求0.0025mm,我想国内就没有能做到的,我们国内目前2寸的片子的水平也就0.005mm而已,何况这是159的片子;

这个片子不一定是做2寸 wafer载体的,可能是做6寸的载体的,不一定LED应用的,可能应该是Ultra CMOS领域;
LED目前最大的好像应该是4寸

Joshua.Xia 发表于 2008-9-5 18:23:12

蓝宝石衬底片在做外延时,不管是几片机台,其各片之间不是放置于一个平面,而是跟机台中心成一定角度并呈圆形分布,所以不应该是2寸片的载体

sinoint 发表于 2008-9-5 21:26:13

原帖由 Joshua.Xia 于 2008-9-5 18:23 发表 static/image/common/back.gif
蓝宝石衬底片在做外延时,不管是几片机台,其各片之间不是放置于一个平面,而是跟机台中心成一定角度并呈圆形分布,所以不应该是2寸片的载体
非常感谢! 不过我看到有报道制备Ⅲ族氮化外延材料是采用这样的方法。
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