无语了
发表于 2008-6-7 14:09:27
光弛机表面问题
做滤色片时,成品表面白白的雾,工件盘烘烤温度260度,TIO2充氧1.5E-2,请教各位
snebur
发表于 2008-6-11 22:46:21
温度降低一点呀，会好点的，
lwt2004
发表于 2008-6-24 09:55:30
首先确认你的洗净方面和材料方面是否有问题，然后确认温度和APC
nation
发表于 2008-6-30 23:01:17
呵，呵，白色的问题，这可是比较常见的问题啊。
JZNT
发表于 2008-9-5 13:15:00
可能是基底被氧化,与APC的充氧量关系不大.
HR-L
发表于 2008-9-14 08:07:02
这个白色物绝大多数情况是和清洗工艺有关,如清洗液的选择和脱水是否干净,烘干时间是否够长等。
超越
发表于 2008-9-17 19:28:56
温度或者氧气大小的问题
lukaiyan
发表于 2008-12-2 20:59:29
又是白浊问题，与氧气和排气能力有关
tfc
发表于 2008-12-3 10:18:56
你在镀前用强灯哈气检查下先。
lukaiyan
发表于 2008-12-3 17:17:51
可能是TiO2的过度氧化
页:
[1]