nation
发表于 2008-7-1 04:10:45
多写点出来，让我们也可以学习一下。
huweiqian
发表于 2008-7-1 13:29:47
红外窗口片保护膜的现在主要是DLC，不过现在发展的趋势使用Ge+GeC+DLC+GeC+DLC这样的多层膜来实现高透过率的目的。而要实现这种多层膜的制作，可能CVD还是有一定的难度。应该采用溅射的会相对合适一些。
xbimr
发表于 2008-7-9 08:25:56
学习了一下。
补充一个资料，也是采用PECVD做DLC的，也是采用射频离子源直接沉积，IBM公司当时用于做存储磁盘用DLC的，以供参考。
[ 本帖最后由 xbimr 于 2008-7-9 08:26 编辑 ]
ferry
发表于 2008-7-15 15:28:36
原帖由 yu123456 于 2008-5-9 15:09 发表 static/image/common/back.gif
类金钢石膜可以在那里买到?硬度可以达到几H?
兰州物理研究所（www.lipcast.cn）
你要掺H的还是不掺的。
可以达到50Gpa以上，老毛子的设备。
xbimr
发表于 2008-7-16 10:19:06
楼上是510所的？ 老毛子的磁过滤做的？
huweiqian
发表于 2008-7-16 20:18:28
另外是不是BP+DLC的结果会更好？
xbimr
发表于 2008-7-17 08:29:48
呵呵 看来最近红外增透薄膜比较热哈，大家多多讨论
huweiqian
发表于 2008-7-21 16:59:59
让你说了之后，人们都不说话了。
chencp2001
发表于 2008-8-28 19:52:40
这个我很早以前做过