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光学镀膜技术及膜系设计
› 请教硅片镀膜问题
lnliwenchao
发表于 2008-2-22 17:26:50
请教硅片镀膜问题
请教各位,在硅片上镀介质膜,有什么限制没有,比如说蒸镀时加热温度,膜层厚度,附着力等
另外,如果在硅片上镀AG反射膜,有什么需要特别注意的地方吗,谢谢各位了
lnliwenchao
发表于 2008-2-23 15:44:57
怎么没人指教啊,\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\
zzzz
发表于 2008-2-25 08:34:09
试试就知道了
不同的设备不同的工艺,他人如何指教啊??
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请教硅片镀膜问题