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光学镀膜技术及膜系设计
› 请问SiO2薄膜?
shuishui
发表于 2008-1-14 21:21:30
请问SiO2薄膜?
请问光电仪器,光电器件中以半导体材料硅为基底的增透膜通常是选用什么膜材
料?SiO2?还是SiO?还是氟化镁?还是氮化硅?我想知道通常在光电仪器中增
透膜膜层的厚度是多少?是否有什么规定?还请问SiO2和SiO的比热和热导率是
多少?谢谢!:L
syc5806
发表于 2008-1-15 22:58:23
俺是业余的,不过记得是氟化镁。曾经在光学镀膜一书中看过。
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请问SiO2薄膜?