ippsong 发表于 2007-11-17 17:29:40

PMMA确实不适合 , 吸水性很难克服 . 建议更换 , 但是如果不做环测直接以酒精擦拭就会出问题 , 那就是镀膜工艺要再提升 . 镀SIO没人会用电子枪吧 ?

ccc502 发表于 2007-11-19 09:45:31

hao dong xi

xiexie liao

snebur 发表于 2007-11-20 17:17:22

SiO采用RH蒸发!速率低于3A?S、厚度很薄即可!

guangang 发表于 2007-11-21 13:36:45

SiO采用RH蒸发??????????

carpty 发表于 2010-11-9 09:51:59

jhxxmlhk 发表于 2007-10-13 16:06 static/image/common/back.gif
加热到70度,镀膜前和镀膜过程中用离子源辅助镀才可以,最好用O2做制程气体.镀前不同的气体轰击PMMA板会改变 ...

我这里就是有印刷油墨的pmma镜片来镀膜,附着力确实很差,都做了很多实验还是不行

john03062003 发表于 2010-11-9 11:11:52

我一直也没有用sio做底层,不过膜层的附着力还好了,百格没有问题!
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