jhxxmlhk 发表于 2007-9-28 18:21:10

有难度的位相膜的设计,求教高手指点!

材质:BK7
技术要求:使用波长655±20nm   790±20nm ,入射角度45±1.5度,(Rp+Rs)/2≥96%,δR=6±10度(入射角度45,波长655nm),δR=-4±10度(入射角度45,波长790nm),波面差在(1/8)λ以下.黑体字部分的要求是什么意思?怎么测量Phase shift on reflection?

zzzz 发表于 2007-9-29 08:15:21

用椭偏仪测试即可.......................

jhxxmlhk 发表于 2007-9-29 08:59:13

楼上的能解答我的疑惑吗?膜系怎么设计呢?

jhxxmlhk 发表于 2007-9-30 15:10:56

我设计了下,膜层如下AG60SIO2108.62TIO279.62SIO2138.5TIO279.76SIO2138.95TIO280.43SIO2152.77TIO210.53SIO2104.23TIO280.83SIO2139.22TIO280.26
分光图在附件里,请高手指点下,这样做可不可以.

nittohai 发表于 2007-9-30 15:44:31

此膜系是应用于光驱中的光学零件,有专门测试相位差的仪器,可以批量测试.楼上的设计光学要求是达到了,但是在工艺上较难实现,主要是部分TiO2层太薄了,其次是镀银可能不是很好镀.

jhxxmlhk 发表于 2007-9-30 15:57:43

原帖由 nittohai 于 2007-9-30 15:44 发表 static/image/common/back.gif
此膜系是应用于光驱中的光学零件,有专门测试相位差的仪器,可以批量测试.楼上的设计光学要求是达到了,但是在工艺上较难实现,主要是部分TiO2层太薄了,其次是镀银可能不是很好镀.
全介质膜也不好做,满足前3项就需要21层了.Ag蒸发还是好镀的.
δR=6±10度(入射角度45,波长655nm),δR=-4±10度(入射角度45,波长790nm),波面差在(1/8)λ以下
请问楼上的兄弟,是不是180度就是0度,可以这么理解吗?655nm落在176-196度,790nm落在166-186度就可以了?波面差怎么理解?
光驱镀膜多用sputter吧,日立环球和新科有做,我想没有这样的技术要求吧.

nittohai 发表于 2007-10-4 10:59:35

在位相的角度看,180度与0度是不一样的,光波的位相在0度与180度时,其偏振方向差90度.这个差别在光驱光学系统里是很重要的,否则就完全不能用.δR=6±10度与δR=-4±10度的要求是光驱识别CD和DVD牒片的一个必要条件.
波面差是对光学零件加工精度和光学设计要求的参数,就是引起光干涉的光程差要求.(1/8)λ是一个干涉极值条件,极易引起干涉.通过镀膜或零件加工可调节波面差.

jhxxmlhk 发表于 2007-10-4 17:11:57

原帖由 nittohai 于 2007-10-4 10:59 发表 static/image/common/back.gif
在位相的角度看,180度与0度是不一样的,光波的位相在0度与180度时,其偏振方向差90度.这个差别在光驱光学系统里是很重要的,否则就完全不能用.δR=6±10度与δR=-4±10度的要求是光驱识别CD和DVD牒片的一个必要条件 ...
多谢!以后有机会再向你请教.

无语了 发表于 2008-1-6 05:55:03

路过,踩下   !学习下,都来说几句                     呵呵

木子李 发表于 2008-1-10 21:15:39

AR在蒸镀机用怎样的工艺来做?还请6楼赐教

木子李 发表于 2008-1-10 21:16:21

银在蒸镀机用怎样的工艺来做?还请4楼赐教

ghtzna 发表于 2011-3-9 18:16:15

回复 zzzz 的帖子

这方面的知识能否更详细和深入的讲解下啊,对位相膜没有深入的研究。谢谢
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