z1206l 发表于 2010-6-29 17:18:27

本帖最后由 z1206l 于 2010-6-29 17:20 编辑

这些基本上都是光控方面的问题了。
电压不稳什么的,然后出光亮会有些变化。

Jimmy_tang 发表于 2011-12-30 10:19:12

{:6_143:}我镀膜的时候,极值数值经常变化,我想是我每次都调节电压和精度导致的。因为我镀的都是非规整膜系,需要不断的调节起始极值点。
每次的极值都应该不变的吗?如果是那样,是不是我的光控不稳?

ysc730603 发表于 2011-12-30 11:01:40

Jimmy_tang 发表于 2011-12-30 10:19 static/image/common/back.gif
我镀膜的时候,极值数值经常变化,我想是我每次都调节电压和精度导致的。因为我镀的都是非规整膜系 ...

大哥能说下光控怎么玩非规整膜系吗?{:6_151:}

Jimmy_tang 发表于 2011-12-30 11:05:01

ysc730603 发表于 2011-12-30 11:01 static/image/common/back.gif
大哥能说下光控怎么玩非规整膜系吗?

我也在边摸边学啊,论坛里面玩晶控的多,玩光控的少。

ysc730603 发表于 2011-12-30 13:13:30

Jimmy_tang 发表于 2011-12-30 11:05 static/image/common/back.gif
我也在边摸边学啊,论坛里面玩晶控的多,玩光控的少。

比如这个膜系怎么镀0.41ZRO2          0.19MGF2    1.57ZRO2       0.16MGF2          0.57ZRO2      1.13MGF2

Jimmy_tang 发表于 2011-12-30 13:26:00

ysc730603 发表于 2011-12-30 13:13 static/image/common/back.gif
比如这个膜系怎么镀0.41ZRO2          0.19MGF2    1.57ZRO2       0.16MGF2          0.57ZRO2      1.13MGF2

每层的监控波长按照你的设计波长乘以系数,可以这样控制吗?

ysc730603 发表于 2011-12-30 13:30:20

Jimmy_tang 发表于 2011-12-30 13:26 static/image/common/back.gif
每层的监控波长按照你的设计波长乘以系数,可以这样控制吗?

比如0.19*550=104.5NM我没法控制

Jimmy_tang 发表于 2011-12-31 08:28:46

ysc730603 发表于 2011-12-30 13:30 static/image/common/back.gif
比如0.19*550=104.5NM我没法控制

我也有碰到过这种事情。有两种解决方式,一种就是修改膜系设计,将这个数值调节到你能控制的最小厚度,然后其他膜层对应优化。另一种就是要看你的镀膜机光控是否稳定,例如你每次的极值点都一样,那么就算出对应的数值,当光控走到这个数值时停止。
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查看完整版本: zro2,OH-5 光控极值变短了.....