maxhong 发表于 2007-5-29 14:40:11

光控反射曲线漂移是啥原因

在溅镀ＡＲ膜时，光控的反射曲线反应迟缓．比如我镀完第一层后，理论反射曲线在５５０nm处反射率应为１５，但显示的反射率为１０，然后整条反射曲线才慢慢地靠向理论反射曲线.
各位前辈能否指点一下.:'(

maxhong 发表于 2007-6-7 17:49:55

自己先顶一下.

wazxq 发表于 2007-6-7 21:55:36

没有看明白意思~~~~~~~~~~

huang12949 发表于 2007-6-7 23:28:09

不太明白~~~~~~~~~~~

zzzz 发表于 2007-6-8 08:14:20

N设置的和理论有差异

maxhong 发表于 2007-6-8 15:39:57

就是我镀完膜后,监控器中的反射率曲线还会整条的缓慢平行移动.

milkyway 发表于 2007-6-10 22:38:18

波长漂移一般都很多

终南子 发表于 2007-6-12 16:36:49

膜层刚沉积到基底上的时候温度高,等温度降下来以后,折射率才接近你的设定值,反射率也才能接近理论值.这个信号要传感器采集,再送到电脑里处理输出,是要有个时间上的缓冲吧.

zzzz 发表于 2007-6-13 08:27:55

就是我镀完膜后,监控器中的反射率曲线还会整条的缓慢平行移动.

实时控制系统中总显示当前的时间，镀完的曲线当然是显示在过去的时间段中了

huhu 发表于 2007-7-1 18:00:04

楼主用的是什么系统啊？方便解释一下吗？

fawang 发表于 2007-7-5 20:48:55

镀完了应该还剩一些残留的膜料在沉积吧，还有温度原因吧

tfc 发表于 2007-7-7 14:43:16

用的宽光谱吧？膜层不够致密就产生漂移．
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