hjzcky000 发表于 2007-5-21 17:19:00

[求助]有没有人做微位移测量的？

精度要控制在10um以下

hjzcky000 发表于 2007-5-21 17:20:00

<p>还有，最好是反射式的</p>

wsminmin 发表于 2007-5-22 04:22:00

不懂，看来同一专业的不同方向也是各行如歌山啊

流落地球 发表于 2007-7-1 22:51:57

请问你的量程是多少？有兴趣可以联系phyldl@eyou.com

bignet 发表于 2007-7-18 17:47:17

很简单，用干涉仪，嘿嘿，改混干涉仪，就懒得想别的办法了
或者四象限探测器？

iViewdisplay 发表于 2007-7-20 18:05:15

laser triangulation, such as keyence sensor. LK or LC series

tingwhere 发表于 2007-8-20 08:59:35

用现成的干涉仪不知道行不?

zqxc60 发表于 2007-8-25 13:40:07

以前作过,,,,测量0.1um左右的形变,,,,,干涉法很直观,数据不好处理!
   你这个干涉能测,,,但衍射法也能测,,,不过可能在相位解缠上比较麻烦!

shaka2007 发表于 2007-8-29 15:45:40

可以考虑使用全息的办法

tingwhere 发表于 2007-8-31 08:38:52

有哪位能说说用于位移测量的干涉仪的具体型号

kilby 发表于 2007-12-20 22:30:48

you can try "Low coherence reflectrometry" for um resolutions.

zcyclone 发表于 2007-12-23 21:54:54

精度与测量范围是紧密相关的,在小范围内做到亚微米级的都没有问题,方法也很多.
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