cathy_f 发表于 2007-4-28 18:23:00

请问国内那儿平面加工水平能达到λ/100的加工精度

欲加工一高质量平板，请问国内那儿平面加工水平能达到λ/100的加工精度？材料为融石英

afeiliu 发表于 2007-4-28 20:35:00

<p>全地球还没有检测手段.</p><p>包括最高精度的ZYGO干涉仪系列,也只能测到1/60个波长(632.8).</p><p>而且出口到中国境内的,没有超过1/20的</p><p>飞宇光电</p><p>http://www.opticres.com</p><p></p>

ll1234567 发表于 2007-4-28 22:57:00

<p>要看元件尺寸大小，λ=632.8nm，这个精度（PV值）基本上用于极紫外光刻，不过国内还不行，与欧美差距还是很大。</p>

cathy_f 发表于 2007-4-30 00:13:00

<p>口径在60mm左右</p>

一塌糊涂 发表于 2007-5-9 22:55:00

严重同意二楼的说法！！

河边草 发表于 2007-5-16 07:40:00

你是说PV值还是RMS？找Zygo在上海的代理，莱特太平洋公司，好像日本有。

蜘蛛人 发表于 2007-5-28 19:25:00

<p>那加工就得不计成本了！而且也没有具体时间了！最主要的检测！！！！用什么检测？</p>

laijf 发表于 2007-5-30 08:36:02

是啊就是检测没有方法，没有检测设备从何谈加工精度。这也反映国内加工业的一个问题，高精度检测设备的自主研发技术不行，这也是导致国内加工业停滞不前的根本原因。现在的许多光学加工企业都是小作坊式的模式，靠国内的廉价劳动力来争市场而不是靠技术，我想这样的企业发展模式是很难作大作强的。

扬帆起航 发表于 2007-6-4 23:59:25

60mm口径,1/100波长,倒......我的个老天......你让我用环抛拖N年都没有希望.关键是没有办法检验呢.

ds1234567 发表于 2007-8-11 11:27:44

我说个方法可以试试，78年五机部来鉴定300口径干涉仪时，国内来了几个专家，当时认为三面法可以证明，液面法不能被证明，只能被推算，所以标准平面三面法计算的。液面法：当用汞或硅油做参比表面，其表面半径是地球的半径值，地球半径均值6371001.00米，激光取632.8nm，用半径与矢高公式计算，计算结果是盛液盘直径300mm液面比几何平面凸起1/179道圈，在直径60内凸起1/4479道圈，平行光束来自长焦距光管，只是不能被验证具体值。

liugz04 发表于 2007-8-12 17:46:52

上面的真专业阿,看了心寒

lieren446 发表于 2007-8-26 17:27:00

利达光电   南阳(原508厂)
目前超光滑可以做到nm级努点力完全可以满足你的需求！
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