garyzhang_1027 发表于 2006-8-17 00:00:00

[求助]彩色滤光片制作过程中的疑问

<p>请教各位DX,在彩色滤光片制作过程中，有一步骤是测量PS（好像是Photo Spacer）的，</p><p>1. PS的测量原理，方法是怎样的？</p><p>2. 有款ZYGO的机器可以测量PS，哪位DX知道它的规格参数，如：精度...</p><p>急切盼望回复</p>

casix 发表于 2006-8-23 16:09:00

<p>Zygo有多种型号，具体规格精度到zygo的网站上就有</p>

garyzhang_1027 发表于 2006-8-23 17:05:00

<p>以下是引用casix在2006-8-23 8:09:00的发言：pZygo有多种型号，具体规格精度到zygo的网站上就有/p</p><p>非常感谢你的回复，不过ZYGO的网站我已经去看过了，关于FPM这种类型设备的精度没有啊，还望赐教</p>

weijiatao006 发表于 2007-9-30 10:56:00

慢慢来
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