[求助]紫外光清洗工艺,光学镀膜技术及膜系设计

raofengx 发表于 2006-2-14 22:54:00

[求助]紫外光清洗工艺

坛子里那位大侠接触过紫外光清洗工艺，介绍一下经验，交流一下，我的邮箱raofengx@sina.com或rfx@lida-oe.com.cn

yingquan 发表于 2006-2-15 00:46:00

谁有可不可以也给我一分，谢谢。我的邮箱yingquan_ma@jinyaco.com.cn

wazxq 发表于 2006-2-15 00:49:00

紫外光能清洗我还是第一次听说，又没人讲讲原理

raofengx 发表于 2006-2-15 17:23:00

原理：低压紫外汞灯能同时发射波长254nm和185nm的紫外光，这两种波长的光子能量可以直接打开和切断有机物分子中的共价键，使有机物分子活化，分解成离子、游离态原子、受激分子等。与此同时，185nm波长紫外光的光能量能将空气中的氧气（02）分解成臭氧（O3）；而254nm波长的紫外光的光能量能将03分解成O2和活性氧（O），这个光敏氧化反应过程是连续进行的，在这两种短波紫外光的照射下，臭氧会不断的生成和分解，活性氧原子就会不断的生成，而且越来越多，由于活性氧原子（O）有强烈的氧化作用，与活化了的有机物（即碳氢化合物）分子发生氧化反应，生成挥发性气体（如CO2，CO，H2O，NO等）逸出物体表面，从而彻底清除了粘附在物体表面上的有机污染物。

wazxq 发表于 2006-2-16 18:59:00

受教了~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~

leidiygs 发表于 2006-2-17 19:26:00

可以用等离子体清洗工艺：不过设备的投资高些，但清洗效果绝对比紫外光好。

xiaoyu 发表于 2006-2-18 00:35:00

请问等离子清洗的工作原理是什么啊？

leidiygs 发表于 2006-2-19 03:40:00

<v:shapetype> 
等离子清洗应用及原理<o:p></o:p>
一、金属表面去油及清洁 
 金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。在这种情况下的等离子处理会产生以下效果： 
1.1灰化表面有机层 
－表面会受到化学轰击（氧下图）
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 －在真空和瞬时高温状态下，污染物部分蒸发 
－污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空带出 
－紫外辐射破坏污染物 
因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度，所以污染层不能太厚。指纹也适用。 
1.2氧化物去除 
金属氧化物会与处理气体发生化学反应（下图）
 <v:shape> <v:imagedata></v:imagedata></v:shape>
这种处理要采用氢气或者氢气与氩气的混合物。有时也采用两步处理工艺。第一步先用氧气氧化表面5分钟，第二步用氢气和氩气的混合物去除氧化层。也可以同时用几种气体进行处理。 
1.3焊接 
通常，印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除，否则会带来腐蚀等问题。
1.4键合 
好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱，这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的，也需要进行等离子清洁。
二、等离子刻蚀 
在等离子刻蚀过程中，通过处理气体的作用，被刻蚀物会变成气相（例如在使用氟气对硅刻蚀时，下图）。处理气体和基体物质被真空泵抽出，表面连续被新鲜的处理气体覆盖。不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来（例如半导体行业用铬做覆盖材料）。 
 <v:shape> <v:imagedata></v:imagedata></v:shape>
等离子方法也用于刻蚀塑料表面，通过氧气可以灰化填充混合物，同时得到分布分析情况。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的，如POM 、PPS和PTFE。等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积。 
三、刻蚀和灰化 
PTFE刻蚀 
PTFE在未做处理的情况下不能印刷或粘合。众所周知，使用活跃的碱性金属可以增强粘合能力，但是这种方法不容易掌握，同时溶液是有毒的。使用等离子方法不仅仅保护环境，还能达到更好效果。（下图）
 <v:shape><v:imagedata></v:imagedata></v:shape>
等离子结构可以使表面最大化，同时在表面形成一个活性层，这样塑料就能够进行粘合、印刷操作。
 <v:shape><v:imagedata></v:imagedata></v:shape>
PTFE混合物的刻蚀 
PTFE混合物的刻蚀必须十分仔细地进行，以免填充物被过度暴露，从而削弱粘合力。
 <v:shape><v:imagedata></v:imagedata></v:shape>
 
处理气体可以是氧气、氢气和氩气。可以应用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。
四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洁 
塑料、玻璃、陶瓷与聚丙烯、PTFE一样是没有极性的，因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。同时，玻璃和陶瓷表面的轻微金属污染也可以用等离子方法清洁。等离子处理与灼烧处理相比不会损害样品。同时还可以十分均匀地处理整个表面，不会产生有毒烟气，中空和带缝隙的样品也可以处理。 
· 不需要用溶剂进行预处理 
· 所有的塑料都能应用 
· 具有环保意义 
· 占用很小工作空间 
· 成本低廉 
等离子表面处理的效果可以简单地用水来验证，处理过的样品表面完全被水润湿。长时间的等离子处理（大于15分钟），材料表面不但被活化还会被刻蚀，刻蚀表面具有最大润湿能力。常用的处理气体为：空气、氧气、氩气、氩氢混合气体、CF4等 
五、等离子涂镀聚合 
 <v:shape><v:imagedata></v:imagedata></v:shape>
在涂镀中两种气体同时进入反应舱，气体在等离子环境下汇聚合。这种应用比活化和清洁的要求要严格一些。典型的应用是保护层的形成，应用于燃料容器、防刮表面、类似PTFE材质的涂镀、防水涂镀等。涂镀层非常薄，通常为几个微米，此时表面的亲和力非常好。常用的有3种情况 
· 防水涂镀—环己物 
· 类似PTFE材质的涂镀---含氟处理气体 
· 亲水涂镀---乙烯醋酸 
　
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raofengx 发表于 2006-2-20 17:08:00

楼上的朋友：一台等离子清洗机大约需要多少money?

wazxq 发表于 2006-2-20 17:43:00

光博会上看的是几万块钱，和微波炉形状差不多

leidiygs 发表于 2006-2-20 21:09:00

价格在10万人民币左右

raofengx 发表于 2006-2-21 17:36:00

10万人民币不算贵呀，我们用超声波清洗机一台大约要20-30万人民币，
不知等离子体清洗用在光学零件生产上工艺是否成熟？
请教各位，与镀膜机上的离子源原理一样吗？

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