论文：APS1104 真空镀膜机等离子源故障诊断与排除等两篇
<p>（因上网原因，需要者请发信到：<a href="mailto:aps1104@126.com">aps1104@126.com</a>，2006-12-08）</p><p><br/>Leybold机的问题解决还是不容易，希望大家相互认识、共同解决各种报警。<br/>1、APS1104 真空镀膜机等离子源故障诊断与排除.pdf<br/>APS1104 镀膜机的等离子源系统工作时，等离子源加热器TP250 控制单元要在300s 时输出一个确认信号：即电压、电流<br/>分别随控制指令从0V、0A 开始工作至300s 时达到10V（ 固定值）、220A （ 可根据工艺要求设定，最大可达250A）。当加热器输出电压、电流与指令相匹配，并达到所设定的工艺参数值时，气体挡板阀打开，氩气与氧气在真空室内混合。由于在阴极与阳极之间加入了直流电压（ 由TP250 控制单元产生），而产生辉光放电，形成了等离子体。等离子体中的电子在磁场的作用下，在源与基片之间形成均匀的等离子区，等离子体与成膜材料粒子相互碰撞，形成致密的薄膜。加工完成后，等离子源加热器电压、电流输出停止，等待下一次操作。<br/>2、高质量非规整多层膜自动制备的研究.pdf<br/>为解决专门制备DWDM薄膜滤光片的Leybold APS 1104DWDM镀膜机制备包含几十层膜层的非规整膜系存在一定<br/>困难的问题,分析了非规整膜系光控曲线中关键区产生的原因,认为这是触发点位置与非理想环境因素共同作用造成触<br/>发点漂移产生的结果。误差校正功能的实现与监控曲线的走值趋势密切相关,曲线必须存在理论触发点和至少一个拐<br/>点。实验结果表明,采用准规整膜系设计方法能有效避免关键区的危害,同时充分发挥误差校正的功能。利用该镀膜机<br/>在精度、灵敏度和算法等方面的优势,设计出了与其配套的膜系,成功地制备了各种高性能薄膜滤光片。<br/></p>[此贴子已经被作者于2006-12-8 15:00:42编辑过]
<P>第二个没什么用</P>
<P>第一个看起来不错，虾兄你就贴出来吧，呵呵，您老可是为光学薄膜贡献多多啊，要不然你给我传传</P> <P>Please mail papers to me. Thanks!</P>
<P>hackerzyd@163.com</P> <P>资料已发。请查看。</P>
<P>两位怎么对Leybold感兴趣了？</P> <P>能不能发给我？？？</P>
<P><a href="mailto:stick_lz@163.com" target="_blank" >stick_lz@163.com</A> </P> <P>也请发一份给我.谢谢!</P>
<P><a href="mailto:huangyu598@sohu.com" target="_blank" >huangyu598@<FONT color=#000000>sohu</FONT>.com</A> </P> 也请你给我发一份吧，我很感兴趣。nqh1978@163.com <a href="mailto:007lijunjun@163.com" target="_blank" >007lijunjun@163.com</A> thanks! <P>请LZ发一份给我.多谢了.</P>
<P>zl4846@yahoo.com.cn</P> 发一份给我.谢谢!YUXUANFENGQQ.@YAHOO.COM.CN 资料已经发了，请查看信箱。