我做的是只有5个腔体的连续式磁控,RP+BP+DP和RP+BP+CP我都有做过,不知道和不和你那里的一样
镀膜机
我是搞韩国机的,这种有要小些. ulvac 这种立式的设备倒见过,不过使用在TFT7代以上。 我们公司也是试用莱宝的真空设备,好像比楼上图片的设备要老很多,呵呵! 真是好大啊////////////////////////////////// 设备本身很先进,但是由于设计时费用的缩减,使得功能很局限,也算是一个缺点,有需要交流的support@prochina.com 过隐
大家再发点图片 其实磁控溅射主要是靶子设计!现在都采用中频溅射技术镀制介质膜!另外就是分析膜系的作用!来制造设备!所以大小完全根据生产厂家对产品的要求和自身经济情况而定!我们是做设备厂家!光连续镀制L-E,有的厂家只要四层!而最多厂家要17层(可以做双银)!那样的话最大可以达130米左右!目前在国际上就阿登拉和我们做这样的产品!不过别个技术高多了!要不我们一直没有制造出柔性连续镀膜!而大家在这方面输给莱宝! 我还是觉得爱发科的产品一般!!
请教楼上
阿登拉是哪个国家的? 英文名怎么写?是否有更详细的资料。。 应该是VON ARDENNE吧。 我们公司也有你这个大东东. ITO