应该和夹具有关系,也可以尝试用铝箔纸覆盖,观察一下
增加氧气流量可解决你的问题
以下是引用huweiqian在2006-3-16 12:30:00的发言:<P>清洗之后到装进真空室去镀膜大概有多长时间,时间长(2小时)有可能会造成这样的问题。</P>
膜层够厚的话,时间长是难免的
除非调快速率
那出来的问题就更大了,这么说几十层膜不就没法镀了
郁闷
以上各位说的都有可能,只要结合具体情况去分析验证就是了.
真空室加配深冷捕集设备或许可以改善。
<P>为什么不说说真空室水气太重了?</P>
有没有考虑机台清洁的方面,是否机台上面clean得不好
<P>该跟充氧有关吧</P>
感觉清洗造成的可能性大,你说那些部分可以擦掉。
这个要有经验的,镀多了就知道了
应该是散射造成的 可以适当降低真空度 上面加盖铝箔纸
速率调低些
到底是什么原因造成的啊