yzhuang 发表于 2005-9-12 07:15:00

求教TiO2膜料

我现在镀一般的反射膜都用TiO2和SiO2组合,但有一个问题让人头痛,那就是TiO2的吸收说问题,如果我把烘烤温度调低一点,吸收就会很大,以标准长波通为例,透过率最高处只有80%左右,而且明显可看见基片镀完后发黑,如果我把烘烤温度调得高了,吸收没了,可是却带来强烈的散射,实在是晕呀,有哪位高人能帮忙指点一二吧,谢谢了.

ic5 发表于 2005-9-12 16:43:00

请问你用的是什么设备，出现上述吸收时是在什么温度下，出现散射又是在什么温度下？

sauke 发表于 2005-9-12 19:32:00

你在低温镀TiO2时充的氧气有不有问题？另外你将压强控制在多少？两组情况的温度分别是多少？

yzhuang 发表于 2005-9-13 22:10:00

在250℃,氧压为2.5×10^-4mbar时出现吸收,
在280℃,氧压为2.5×10^-4mbar时出现散射,

yzhuang 发表于 2005-9-13 22:14:00

我用的是莱宝设备,充医用纯氧.

eagle1 发表于 2005-9-19 05:16:00

请问你是怎么区分吸收和散射的,有散射时的透过率是多少?
是不是你的系统有其他原因?

sam1900 发表于 2005-9-19 22:37:00

试试用下TIOS德国默克的!!!
有需要拨0769-2607473

jipeng 发表于 2005-9-20 07:16:00

你不用离子源吗 ?为什么?

zz 发表于 2005-9-20 22:56:00

建议用进口料//////////////////

ic5 发表于 2005-9-21 02:36:00

我认为不一定是材料的问题，这个主要是工艺。
莱宝机，应该有啊APS源吧？没有离子源是很难做好的。
吸收条件下，增加充氧量看看了。

zz 发表于 2005-9-21 15:46:00

料很重要.
没有离子源一样可以做的很好
适当调整O2量也很关键

liangjun 发表于 2006-7-11 06:48:00

给你建议一下 莱宝做长波通用TI3O5要是在做不出来 你就去找个豆腐撞死算了 让费资源
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