vietti 发表于 2005-4-20 22:51:00

[求助]请教定值法光学监控的原理是怎样的？

请教定值法光学监控的原理是怎样的？

ic5 发表于 2005-4-22 17:09:00

<P>定值法？是什么东东，能说详细点吗？</P>

vietti 发表于 2005-4-22 19:14:00

极值法是每层膜到极值点停，但极值点的判断很容易产生误差。
定值法好像是先算出合适的一个反射率值及合适的监控波长，镀每层膜时当光控
的反射率达到这个点就停止，镀下一层膜时还是到这个点停，相对极值法可减少很多误差。
具体是怎样？哪位可以说说？

zz 发表于 2005-4-22 21:05:00

好象不是你说的那样：极值法到极值点停；定值法即到定值法停。得通过多次实验才可确定定值。理论上应是极值法的精度高。
是否镀下一层还是该点停，我看未必，得根据你的设计膜厚而定。

adongs_zju 发表于 2005-4-22 21:33:00

我觉得3楼的说的有道理。我的理解是：
极值法是每层膜到极值点停，然而在极值的地方dT/dt=0，也就是说透过率（或者反射率）对膜层厚度的灵敏度最小，因此极值监控的厚度误差比较大，不过比较容易监控----到（过）极值就停。
定值法选择某个监控波长，算出这一层的反射率值，光控到这个点就停。
可能需要自己试验摸索一下吧！

eagle1 发表于 2005-5-8 04:37:00

我觉得极值法好像是接近于极值点的地方停。有那位更清楚的大家请出来介绍一下。

wazxq 发表于 2005-5-8 19:24:00

看了楼上的讨论，我的观点是
定值法好像是先算出合适的一个反射率值及合适的监控波长，镀每层膜时当光控
的反射率达到这个点就停止，镀下一层膜时还是到这个点停，相对极值法可减少很多误差。

这种做法是不可取的，这种算法比用极值法误差大很多，由于镀膜时状态是时时变化的，这种算法是做理论的人想的，实际没有意义。
真正采用的是依照PEAK等通过算法计算出停镀点的

zz 发表于 2005-5-8 22:32:00

也不能说是不可取的,若只是同一膜系,可通过经验总结出适用定直点.

yybeyongyy 发表于 2005-6-6 14:23:00

   定值法适用于截止滤光片的监控。它比定值法有更高的监控精度，能避免镀制H/2的麻烦。它用控制波长监控，监控波长在截止波长附近（通过在监控片上预镀来实现）。定值是可以计算出来的，监控方便。
我从书上看的。

yybeyongyy 发表于 2005-6-6 14:35:00

我做毕业设计，是长波通滤光片的定值法监控。所以只知道点对截止滤光片了解。

xiaozhou 发表于 2005-6-7 06:38:00

定值法好像是先算出合适的一个反射率值及合适的监控波长，镀每层膜时当光控
的反射率达到这个点就停止，镀下一层膜时还是到这个点停，相对极值法可减少很多误差。

这种做法是不可取的，这种算法比用极值法误差大很多，由于镀膜时状态是时时变化的，这种算法是做理论的人想的，实际没有意义
以上观点我觉得不对，定值法在现实生产中应用也是较多的，很多全自动镀膜机就是应用的该方法来控制的。它也并不是一定要走的定数，象过极值的我们一般是设计出一个系数来，跟据头一个极值来乘以该系数得到它的走值。

xiaozhou 发表于 2005-6-7 06:41:00

当然一个控制比较片控制的层数越少越准确
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