风之炫彩 发表于 2005-3-19 06:41:00

坛子里有没有作磁控溅射镀膜的

好奇怪呀，在坛子里转了这么久，听大家说的，感觉好像作磁控溅射得不多，为什么呀，有经验的大家一块聊聊呀！偶是新手，很像多多听取前辈的见解哦！

wazxq 发表于 2005-3-20 00:45:00

<P>磁控溅射在光学镀膜上用的少</P><P>像Veeco's SPECTOR&reg; Optical Coating System 。非常好的设备</P>

hacker 发表于 2005-3-20 21:14:00

<B>以下是引用<I>wazxq</I>在2005-3-19 16:45:45的发言：</B>

<P>磁控溅射在光学镀膜上用的少</P>
<P>像Veeco's SPECTOR&reg; Optical Coating System 。非常好的设备</P>
<P>
<P>Veeco's SPECTOR&reg; Optical Coating System 属于离子束溅射，不属于磁控溅射。</P>
<P></P>

faverkiss 发表于 2005-3-21 20:22:00

<P>唉，我做磁控溅射的</P><P>不过我现在做透明导电膜，仅仅跟光学粘点边</P><P>以前做金属膜几乎没什么关系</P>

风之炫彩 发表于 2005-3-22 20:40:00

可是欧现在的课题是用磁控溅射镀光学薄膜,为什么磁控溅射在光学镀膜上用的少,是应用技术的问题还是什么么/

nittohai 发表于 2005-3-23 18:26:00

可能是磁控溅射薄膜沉积速度比较慢，产能不大。不过其薄膜质量确实非常的好。我认为随着磁控溅射技术的发展，它在光学镀膜上会用的更多。

whpe2000 发表于 2005-3-23 20:50:00

风之炫彩 发表于 2005-3-24 00:04:00

那大家一起讨论讨论呀，我可是向以后找工作就靠他吃饭了，那为什么像坛子里的人好像大多是做cvd的，为什么呢，那磁控溅射在实际的生产中用得多么

whpe2000 发表于 2005-3-24 01:26:00

coatingli 发表于 2005-3-24 05:09:00

SHINCRON的RAS设备就是磁控溅射原理

风之炫彩 发表于 2005-3-24 18:56:00

可是我们用的是国产的磁控溅射设备，不知道楼上的SHINCRON的RAS设备是什么样子，不同的磁控溅射设备，操作什么的，会有很大区别么

wsossos 发表于 2005-3-24 19:13:00

我在北科大是做磁控溅射的，主要是做磁性薄膜方面的，用的设备还是中科议的，比较老式的磁控溅射设备，在清华借用过美国的一套进口设备，很爽的，当时为了赶试验没注意设备名称
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