急需精密干涉测量微小位移的资料
个位大哥哥,小弟我最近在为一个题目查找资料!关于精密测量技术测量微小位移的!请大家给我一些这方面的资料,有关的书籍和测量仪器的资料,请跟我联系,zyfnpu@126.com 要确定方向才能找资料 <P>具体是要用迈克尔逊干涉仪或法—泊干涉仪对压电陶瓷的随电流非线性位移的测量,可能要应用上CCD进行纪录,对于CCD那位大虾可以提供资料和试验方案的。小子我在此谢谢了!有什么消息可以写上面的地址联系:zyfnpu@126.com</P> <P>好像现在的pzt工作台都是用电容传感器做反馈的吧.</P><P>只有溯源到米定义时才用干涉仪标定.</P>
<P>至于基于研究目的才会出这种题目,没前途.</P> <P>装上一个平面镜,用fft方法来计算相位变化然后换算成位移量。测量精度可以达到1nm,但是必须小步连续移动。</P> 可以用全息照相的方法照出变化前后的两次图象然后进行比较测量
看zygo的技术文档
http://www.zygo.com/products/zmi/dmiprim.pdf
页:
[1]