surlen 发表于 2017-3-21 16:18:13

球面轮廓测量仪

基于相位恢复技术实现器件球面轮廓三维测量，可应用于球面透镜、球面反射镜等器件的面型测量。系统性能指标：激光波长：635nm器件口径：f1mm-f300mm球面曲率半径：2mm-100mm测量精度(PV值)：10mm可实现系统像差分析以及器件面型误差分析

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