求教购买平面度仪
<P>各位高手，本人想购买一台用于测试晶片的平面度检测仪，可以测4英寸以上的，请大家介绍几款性价比比较好的平面度仪，谢谢！！！</P> <P>我也想知道</P> 两个面怎么测平面度？？？ <P>我公司代理有美国的干涉仪，可以与我联系：021－54071828－705</P><P>或steven@infotek.com.cn</P><P>可以测量4英寸以上的，精度到1/20波长</P> <P>可以联系南京理工大学电子工程于光电技术学院陈磊教授，何勇副教授</P><P>那边是中国光学测试会专业委员会，有各种髙性价比的干涉仪</P><P>电话 025-84315427</P> <P>求到了么?bj /</P><P>jim</P> <B>以下是引用<I>icewater</I>在2004-11-22 22:39:55的发言：</B>
<P>各位高手，本人想购买一台用于测试晶片的平面度检测仪，可以测4英寸以上的，请大家介绍几款性价比比较好的平面度仪，谢谢！！！</P>
<P>平面度检测仪？平面度仪？
<P>不就是平面干涉仪嘛！
<P>口径100以上的平面干涉仪就可以了。
<P>国内应该也有几个做的厂家吧。
<P>当然用进口的也可以，不过，似乎没有必要。</P> 您好！我在光电论坛上看到您对我们的AK系列干涉仪感兴趣，所以我想了解下您的具体应用，这样才好给您报价。
AK系列干涉仪共有两种型号，分别为AK-40(口径40mm)和AK-100(口径100mm)，主要为口径的区别，口径大的当然价格会贵。您平时测量需要的口径是多大？
您用干涉仪是测平面的还是测球面的？如果是只测平面的，仪器整体比较简单，性价比高。如果需要测球面的，仪器的整体支架会加装导轨，所配的镜头也会多一些，价格比只测平面的高，测球面的干涉仪也可以用来测平面。
另外，还有很多镜头可根据需要进行选择，比如不同R度的镜头，反射镜（用来测量平片的波前），等等。
下面给您报下采用标准配置的整套干涉仪的价格：
(1) AK100平面测量系统：AK100平面總成+ 4" 平面穿透標準鏡頭+ AK100有調焦， $24200
相位頭 + 軟體， $16130
(2) AK40 平面量測系統：AK40 平面總成+ 1.5" 平面穿透標準鏡頭+ AK40 干涉儀本體，$13620
相位頭 + 軟體， $12910
(3) AK40 球面量測系統：球面總成(下看型)+ 1.5" F/2.0 球面穿透標準鏡頭+ AK40 干涉儀本體， $20000
相位頭 + 軟體， $12910
我们这边提供售后培训和维护等服务，您也可以来我们这边现场看仪器。
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