ouyuu 发表于 2016-1-13 17:31:36

Si3N4可以用溅射反应镀出来。
要达到9H硬度，一个是基底硬度要够，
另一个是膜本身的硬度也够，还有个取巧的办法，
把表面粗糙度降低，比如镀防油膜。

lsx2121 发表于 2016-5-9 10:08:18

Si3N4 一般是用磁控溅射反应溅射Si +N2= SiNx做出的， SiO2 多层复合 做AR 膜。

MorningTech 发表于 2016-5-9 18:06:41

都是高人

上海膜林科技有限公司 专业 晶控仪

huang12949 发表于 2016-9-5 15:39:56

通常AR后再镀AF，铅笔硬度通常7H 以上、 蓝宝石上镀AF可达到9H。

LILISRLHJ 发表于 2017-6-18 16:35:53

huang12949 发表于 2016-9-5 15:39 static/image/common/back.gif
通常AR后再镀AF，铅笔硬度通常7H 以上、 蓝宝石上镀AF可达到9H。

可以到7H以上？想请教下您的测试条件是什么样的呢？我现在手头有个产品3H一直未过，望指点迷津！

charles2022 发表于 2017-6-21 02:02:17

huang12949 发表于 2015-11-3 16:13
氮化硅，是不是白色颗粒状， 融料条件和SIO2差不多？但 我电子枪镀出来好像效果不咋的，请教氮 化硅，谢 ...

磁控机镀随便都能达到，蒸发机不稳定，也能镀呢。用ZRO2   SIO2全程轰击

cqzxcl 发表于 2017-12-11 20:05:10

主要取决于基底好比你用蓝宝石来镀膜应该差不多

17873333033 发表于 2020-6-11 16:55:39

膜料厂家来了，要买什么材料找我，自己研发生产的。178 7333 3033
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