各位帮忙回答下
各位有单独用晶控做监控镀制中心波长在500至600纳米的任一单波长，半带宽的9至11纳米、截止深度为OD3的窄带吗，你们做过的帮忙分享下你们的成果，因为我有个产品就是做种类型，我的产品要求是400至800截止深度OD3，中心波长在500多，半带宽要求10正负二纳米，我这边的机器有IC 晶控仪，但监控SIO2就是速率控制不好，有深冷，没离子源，不知道能不能镀制这么高要求的产品，求各位分析下，另外我这里的日立U-4100分光光度计无论是测透过还是反射，其测量结果不稳定，测一个K9白片的透过时其测量一会儿一会儿低，但都比理论透过高0.5%以上,这种不稳定现象你们遇到过吗？我补充下，窄带的峰值透过率要求60%，我这个机台一直是做AR而没用过TI3O5，这次第一次用就上做这么高难度的窄带，能不能做好还是个问号啊，我想做好材料参数和TI与SI的匹配参数后就分三步走，第一步是用产品的一面去镀制一个截止范围在640~800波长的短波通，再根据这个短波通的光谱结果来分析调整材料匹配参数，第二步就是只上几个产品镀制主膜了，当然如果成功就是最后一步直接上产品镀主膜了，各位牛人帮忙分析下看看还要哪些要注意的地方。 可以做到的，只是不太容易。多年前我试做过类似的主膜系，结果是半宽度13nm，峰值63%，多花点功夫应该可以做到楼主的目标的（那次我只是做着玩的，也就做了一次） 本帖最后由 zouyou828459 于 2014-5-11 17:56 编辑
qjy 发表于 2014-5-10 20:09 static/image/common/back.gif
可以做到的，只是不太容易。多年前我试做过类似的主膜系，结果是半宽度13nm，峰值63%，多花点功夫应该可以做 ...
我今天做了一炉主膜的试验，半带宽跟设计的一样是10个纳米，但是烦人啊秀过率只有41%，这可怎么办，我要不要把半带宽设计为12，这样镀出来透过率或许能达到所要求的50%呢 zouyou828459 发表于 2014-5-11 17:15 static/image/common/back.gif
我今天做了一炉主膜的试验，半带宽跟设计的一样是10个纳米，但是烦人啊秀过率只有41%，这可怎么办，我要不 ...
我这之前有人做过这类产品，峰值能达到80%，好像他用的是光控膜系再优化，而我用的是两个长短波通叠加法，哪位牛人有类似的此类膜系设计可否一起探讨探讨？ 没有离子源，而且用晶控监控Ti3O5和SiO2镀多层介质膜，千万别忘记温飘的问题：也许镀完当天测量波长位置正好，5天后飘长10nm、15nm是很正常的事情！
所以此事千万别冒进，一定要勤测量，一直到膜层吸潮稳定后，波长没有红移后，再确定Tooling值！ 这个事情太难，首先晶控就是一个大Bug。先不说随着时间推移波长红移的情况，光是随着机器使用状况的不同，Tooling值也会随着改变，你如果不是对这台机器的Tooling把握很熟悉，我还是劝你不到万不得已，别用晶控做！ xiaohuilee 发表于 2014-5-11 20:05 static/image/common/back.gif
做这样的膜你要是用长波短波叠加更麻烦 我试过叠加的首先对机器的稳定性要求特别高 而且你的峰值做不太 ...
NO！你理解错了我的意思，我要说的是设计膜系时所用的膜堆是用长短波通组合设计，而不是镀一个长波通和镀一个短波通，我想这样做应该行不能，除非机器很稳定了。 真的非常非常的佩服加仰视楼主！竟然能够用长短波通的膜系做精度要求这么高的滤光片！真是遇到高手中的高高手了！ rollo_tomasi 发表于 2014-5-12 09:13 static/image/common/back.gif
没有离子源，而且用晶控监控Ti3O5和SiO2镀多层介质膜，千万别忘记温飘的问题：也许镀完当天测量波长位置正好 ...
是啊，我知道，因为我之前的公司就是专业做窄带的，我现在的机台没有那种带冷却水的霍尔类子源，但是有深冷，镀前真空能达到十的负四次方，所以相对来说漂移量没那么大。 qjy 发表于 2014-5-12 21:30 static/image/common/back.gif
真的非常非常的佩服加仰视楼主！竟然能够用长短波通的膜系做精度要求这么高的滤光片！真是遇到高手中的高高 ...
{:1_1:} 对于窄带膜系设计我懂得不是很多，都是以前学到的一些皮毛现在要用的时候现拿来用呀，我知道论坛的高手很多，所我这个贴出来是请各位一起聊一聊做窄带滤光片的一些话题，拜托就不要挖苦我了。 我今天通过修改了材料参数及重新设计了膜系，就是把半带宽设计为12纳米，看了一下该膜系比原先还薄了好多，我又试镀了一炉结果，我的那个激动啊，峰值透过率达到了75%以上，可惜半带宽只12.6了,唉不管怎么说悬着的心终于掉下来，要知道老板今天中午又在催我了，要知道这个产品是他叫别的厂家做坏了再拿回来给我做的，时间就只给我半个月，我每天做增透只有一个班一天平均四炉，还得做这个东东，如果说今天做不出来那我可能就会放弃了，这得感谢我的师父啊，每当有困境时都能从他那找到启发！
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