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光学镀膜技术及膜系设计
› 真空度
wdydede
发表于 2014-4-9 16:07:39
真空度
各位大侠:1100国产机,真空度慢,1.5小时才到6X10一3pa,换扩散泵油后,无好转!如不开烘烤,可在15分达2×10一3。请各位指点迷津
sowun
发表于 2014-4-17 13:44:58
加个polycold
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真空度