有挑战
除非玻璃夹具自转，否则不可能均匀，
用CVD，脉冲微波产生等离子体镀膜。产品固定不动，表面气流稳定，等离子体密度均匀，膜厚就是均匀的。
嘉兴晶控电子有限公司（JJK）成立于2004年1月初，公司位于浙江省嘉兴市南湖区余新工业园。是一家集研发、生产、销售石英晶振片和石英晶体微天平的科技型企业。现有厂房约7600㎡，员工60余人。
公司于2004年开始生产石英晶振片基片，并于2005年下半年大量供应美国市场，成为国内最大的石英晶振片基片生产商。经历4年技术和经验的沉淀之后，2008年开始，从美国引进先进的镀膜设备，以一流的技术、一流的团队，凭借一流的基片，精心打造国内晶振片第一品牌。
为满足国内市场各种型号、规格晶控仪对晶振片的差异化需求，JJK精心设计和制造了多种不同规格的晶振片(5/6Mhz,金、银、合金三种电极材料)规格齐全，更重要的是，JJK晶振片性能的稳定性和可靠性与进口晶振片已无差距，可重复使用次数也达到了进口晶振片的水平。至2010年底，我们的客户达到400多家，产品广泛应用于真空镀膜、半导体（LED）行业，医疗、军事、航天等研究机构，远销美国、新加坡、德国、日本等海外市场，并受到业界的一致认可。
销售经理夏志国 15068338773 QQ1046118891
coaterxf 发表于 2014-5-20 16:14 static/image/common/back.gif
用CVD，脉冲微波产生等离子体镀膜。产品固定不动，表面气流稳定，等离子体密度均匀，膜厚就是均匀的。
磁控溅射啊？
扬帆起航 发表于 2014-6-13 09:56 static/image/common/back.gif
磁控溅射啊？
化学气相沉积，类似PECVD。
同意coaterxf意见。另外也有用光学镀膜机的。但需要产品尺寸较大。是三转镀膜机。全国可能就2、3台。
点蒸发源不变，靠工件的转动来调节均匀性不大可能。
溅射可能性大点。附件就算是抛砖引玉吧。
行星夹具有用吗？
士官长 发表于 2014-6-23 18:49 static/image/common/back.gif
行星夹具有用吗？
应该是不行。三轴的做凹面可以，凸面很难。
用蒙特卡罗法可以仿真计算膜厚均匀性，可惜不会啊，呵呵。
coaterxf 发表于 2014-6-15 15:48
化学气相沉积，类似PECVD。
PEVCD镀半球工件一样存在问题，等离子体不是大家想象的那样，在半球工件上的发布也是不均匀的，镀出来同样有色差！
ferry 发表于 2016-4-12 17:40
PEVCD镀半球工件一样存在问题，等离子体不是大家想象的那样，在半球工件上的发布也是不均匀的，镀出来同 ...
以前发的信息不对，据说特殊斜面行星可以。