ferry 发表于 2014-1-3 13:28:46

ZnS基片镀红外增透膜的问题

如题，
发现实际镀的光谱透过率与设计值相差挺大，而且每次都有差异，理论剩余R可低于1%，实际超过6%。
红外增透膜与可见相比，有何不同之处，镀时应该注意啥问题？
我的参数：本底3*10-3pa
    加热120°   霍尔辅助（150V/3A）Ar:35sccm(此时8.8-9.2*10-3pa)
磨料：ZnS（10A/S）; YbF3(4A/S),晶控。
谢谢！

lkwxp 发表于 2014-2-17 19:44:41

一般测试用的是2mm厚的陪镀片。中波应该没问题。zns在10um以后吸收变大，实际的透过率偏低。
红外膜都是测透过率，反射测不准，不知道红外波段的反射你是怎没测的，你的标准镜，标定没。

我是武汉高德，一点个人看法。

xiaohuilee 发表于 2014-1-4 18:18:54

tooling 折射率都确定没有问题了？
还有YF3用离子源了吗

clark007 发表于 2014-1-6 10:14:56

楼主是做哪个波段的，是否有吸收问题，还有单层膜的折射率是否准确？

ferry 发表于 2014-1-17 20:34:36

clark007 发表于 2014-1-6 10:14 static/image/common/back.gif
楼主是做哪个波段的，是否有吸收问题，还有单层膜的折射率是否准确？

中长波，8-12波段。

lsx2121 发表于 2014-2-10 14:33:43

如果把你的真空度 在提高一些 做一下，看是否有的好的结果。不过你也可以用磁控溅射 在ZnS 基底上，沉积GeC 或DLC 做增透保护膜 ，如果需要的话， 谢谢

royyang 发表于 2014-2-12 12:23:57

{:6_153:}

HGcoating 发表于 2014-2-13 10:23:57

红外膜比可见光厚多了了，误差太大
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