MorningTech 发表于 2014-4-11 22:30:54

本帖最后由 MorningTech 于 2014-4-17 18:14 编辑

zouyou828459 发表于 2014-4-11 21:16 static/image/common/back.gif
多谢!哈哈你说的这么仔细,我将会去看说明书慢慢理解的,谢谢了!

看说明书是必须的。

//我会择日删除我回的一些谬论,以免误导更多人,呵呵。
//第一删

zouyou828459 发表于 2014-4-12 21:07:35

MorningTech 发表于 2014-4-11 22:30 static/image/common/back.gif
看说明书是必须的。
那个ITAE指标,要弄清楚怎么根据现象去调参数,还真比较困难。你学会调整的时候,不 ...

呵呵,我懂得,谢谢!

MorningTech 发表于 2014-4-14 22:30:46

接帖子 < 关于tooling与TFC中group的方法>
在晶控仪中, 材料的比例系数即Tooling的定义为
   真实Tooling = 样品材料层厚度/晶振片材料层厚度                                 ....<1>
样品即用户的产品,通常为玻璃片,样品厚度是指 样品上测量出来的 材料厚度。
这里的晶振片材料层厚度是指 晶振片上真实记录的 物理厚度,用户是看不到的(除非Tooling=100%),不是指晶控仪显示厚度!

Tooling就是为了让晶控仪显示厚度(设计厚度) 等于 样品实际厚度的,于是,晶控仪显示厚度是包含了Tooling的!
   晶控仪显示厚度(即设计厚度) = 晶振片材料层厚度 * 设定Tooling    ....<2>

由1,2式可见,如果设定Tooling 等于 真实 Tooling值,那么 晶控仪显示厚度(设计厚度) 就与 样品材料层厚度一致了。

虽然定义简单,但修正时的式子理解起来稍有点绕人,现略述如下

假定第一次设定 Tooling值为 T1,设计值为100nm,如果样品材料层厚度为 90nm(取下后测量出的),
则    真实Tooling = 样品材料层厚度 / 晶振片材料层厚度                      ...根据定义式 <1>
                           =样品材料层厚度/(设计厚度/设定Tooling)               ...代入 <2> 式
                        = 设定Tooling* 样品材料层厚度/设计厚度               
                        = T1 * 90nm/100nm
                        =90%   (假定第一次设定Tooling T1 = 100%)

好了,将第二次Tooling改为 90%,再重复一次实验,假定真实Tooling不变,设计值仍然是 100nm。
晶振片上记录的材料层厚度 =设计厚度/ 设定Tooling = 100nm/90% = 111.11 nm       ...根据<2>
而样品材料层厚度 = 111.11nm * 90% = 100nm= 设计厚度                                        ...根据<1>

你记住没有?反正我是记不牢,在此写下也方便日后查询,呵呵。

MorningTech 发表于 2014-4-20 20:49:51

实践证明 晶振片阻力损耗 参数还是是非常好用的,呵呵。 (专利技术)

MorningTech 发表于 2014-4-25 07:27:12

MorningTech 发表于 2014-4-20 20:49 static/image/common/back.gif
实践证明 晶振片阻力损耗 参数还是是非常好用的,呵呵。 (专利技术)

情形是这样的:
用户安装新晶振片,发现<频率:阻力损耗>显示颜色为红,取下来检查是晶振片有问题,换一片OK。

MorningTech 发表于 2014-4-28 12:42:34

MorningTech 发表于 2014-4-25 07:27 static/image/common/back.gif
情形是这样的:
用户安装新晶振片,发现显示颜色为红,取下来检查是晶振片有问题,换一片OK。

有朋友说 2台 3x0显示 频率为 0。昨天带着我公司的XDM-3K及虚拟探头,过去检查一下,都是探头及电缆问题。
问题虽不大,但影响生产及实验,最近还有好几位这样的朋友咨询。
特小结一下:
1.如果没有频率,一般是 探头及电缆连接 有 短路或断路 这样的问题,这次两个都是断路,只是位置不同;
   接 XDM-3K,显示损耗值 在 100%附近,显然是 断路。
   补充说明:XDM-3K就是以断路做基准100%的。 显然,如果是短路,则损耗值将显示为小量。这在探头维护时作用非常明显,呵呵。
2.速率异常,问题复杂,得具体分析;
2.晶控仪自身不容易坏。

镀膜人101 发表于 2014-5-3 04:05:50

你们的仪器能通过电脑控制,记录吗? 看你前面现实的曲线,应该是有的吧?你的网站上有什么软件能下载用来控制你的晶控仪啊?

镀膜人101 发表于 2014-5-3 04:07:11

MorningTech 发表于 2014-4-20 20:49 static/image/common/back.gif
实践证明 晶振片阻力损耗 参数还是是非常好用的,呵呵。 (专利技术)

这个晶振片阻力损耗到底是怎么算的啊?

MorningTech 发表于 2014-5-3 10:27:17

镀膜人101 发表于 2014-5-3 04:07 static/image/common/back.gif
这个晶振片阻力损耗到底是怎么算的啊?

阻力损耗是由硬件电路来测量,并由软件来计算出来的。它反映的是探头和晶振片的整体情况。
将晶振片Holder取走的时候的测量值做为 基准100%( 此时探头回路断路或称为开路)。

正常时探头连接良好,它就代表了晶振片的自身损耗大小。
晶振片不良或探头回路接触不良时,此值会偏大,甚至会到100%附近;反过来,当短路时,此值会很小。


MorningTech 发表于 2014-5-3 10:41:14

镀膜人101 发表于 2014-5-3 04:05 static/image/common/back.gif
你们的仪器能通过电脑控制,记录吗? 看你前面现实的曲线,应该是有的吧?你的网站上有什么软件能下载用来控 ...

能通过电脑控制,目前提供通信方式是串口。
此款晶控仪功能强大,可单独进行全自动多层膜镀膜。且带内部DataLog功能,每层的数据记录一次,1000多层空间循环记录。

暂未对外提供控制软件。
如果用户自己开发镀膜机软件控制,可提供它的VC软件通信例程。
如果用户仅仅需要实时记录数据,可与我们联系。

用户的需求就是我们的追求。

镀膜人101 发表于 2014-5-5 20:09:32

MorningTech 发表于 2014-5-3 10:41 static/image/common/back.gif
能通过电脑控制,目前提供通信方式是串口。
此款晶控仪功能强大,可单独进行全自动多层膜镀膜。且带内部 ...

实时记录数据是和晶控仪同步的吗?如果是1秒10个数据的话, 电脑实时记录也是吗?晶控仪的实时记录有没有取平均啊,也是1秒10个数据吗?
我知道有些晶控仪能达到1秒20个数据,但是真正记录的时候是达不到的,只能记录比如1秒4个数据,这样的话,这个噪音测量就相应缩小,但这个只是假象啊。

MorningTech 发表于 2014-5-6 15:00:14

本帖最后由 MorningTech 于 2014-5-6 15:09 编辑

镀膜人101 发表于 2014-5-5 20:09 static/image/common/back.gif
实时记录数据是和晶控仪同步的吗?如果是1秒10个数据的话, 电脑实时记录也是吗?晶控仪的实时记录有没有 ...

XDM-3K 没有实时记录数据功能。

在每层<停止>时刻记录下该层 的成膜时刻、停止时频率、停止时晶振片损耗、镀制厚度等一些基本参数。
另外,在系统掉电(如遇停电) 时, 也作了和停止时刻同样的记录动作。 再次上电开机时,晶控仪会 自动识别出前次停电的数据,并将其读入 系统, 用户只需 按 <继续>(<开始>键同一位置,中途停止后字面变为<继续>) 即可完成连续成膜动作了。

XDM-3K 的频率更新速率每秒10次,输入输出的更新速率也是同样。

本公司暂未提供电脑(上位机)记录数据的软件。晶控仪有 串口通信接口, 速率为 115200或9600可设定。
用户编程时, 可通过电脑串口 发送频率查询 等命令,以实时掌握 晶控仪的状态。
要说明的是, 每次查询的都是当前的状态。   用户程序可以每秒完成的 查询命令 由用户编程 及串口通信速率决定,但每秒超过10次的话,意义就不大啦,因为肯定会查到同样的 状态。

注: 会择时 删除一些 较详细 的解说和介绍。
有甚高膜厚控制要求(超薄层、敏感层等)或其他研究级别的问题,也可以通过其他方式进行 双向沟通,也非常欢迎把您的想法与建议与我们分享,谢谢。
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