wugaoling688 发表于 2013-9-17 17:32:51

IR发白，发雾原因

我这镀的IR-cutl滤光片经常会有些外观不良，主要是发白。像雾一样，估计是洗净问题，又找不到对策，各位高手有没遇到过。交流下。QQ670284490

john03062003 发表于 2013-9-18 14:56:00

镀完之后是不是直接泄气？

wugaoling688 发表于 2013-9-18 17:33:27

john03062003 发表于 2013-9-18 14:56 static/image/common/back.gif
镀完之后是不是直接泄气？

不是的，都是关烘烤5分钟后，放大气，，时好时坏，偶尔发生，

john03062003 发表于 2013-9-20 10:37:03

产品直接放在治具上吗？上面有没有盖板？

诸葛流星 发表于 2013-9-22 08:03:26

你是什么工艺条件？特别是实测温度，沉积速率......还有你的材料是什么价位的？

wugaoling688 发表于 2013-9-22 19:46:57

温度270，速率硅是14，钛是3.5.是那中廉价的。我确定不是镀膜原因，肯定是清洗环节，因为有时一片都没有，有时会有几片，

wugaoling688 发表于 2013-9-22 19:47:00

温度270，速率硅是14，钛是3.5.是那中廉价的。我确定不是镀膜原因，肯定是清洗环节，因为有时一片都没有，有时会有几片，

诸葛流星 发表于 2013-9-28 13:55:54

也许你要注意一下你的SiO2光斑位置和大小，还有你可以把SiO2的速率降点。

339549428 发表于 2013-9-28 19:54:01

谢谢诶分享
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