光电社区 › 光学镀膜技术及膜系设计 › 求助，近期我们这镀膜产品突然出现大批量因麻点而报废的问题

chao_li0622 发表于 2012-12-11 19:02:16

学习

wdydede 发表于 2012-12-12 22:41:07

{:6_143:}

霹靂貓 发表于 2012-12-24 10:52:10

{:6_156:}

ouyuu 发表于 2012-12-25 23:31:00

JINFENG215107 发表于 2012-12-10 14:28 static/image/common/back.gif
建议：那可能和均匀板或蒸发束流有关系了。

这个和晶相的生长有关。
除了调各圈温度和离子源角度，别无其他办法。

chunsheng82 发表于 2012-12-28 14:15:40

归类如下：
1.大麻点：和机器清洁、基片清洁、车间环境有关
2.小麻点：一般比较密集和基片抛光、离子源、气体、磨料有关。
根据你的描述和基片抛光不好可能性很大

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