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回帖,是一种美德
TiO2, SiO2試試看
kelvin874874 发表于 2012-10-17 11:19 static/image/common/back.gif
TiO2, SiO2試試看
这两种材料还有试的意义和必要吗?
ZRO2应该可以做出来,估计五六十层吧
captainH兄,你笑什么
建议用HfO2和SiO2。
我做过类似的高反,不过是250nm的零度入射角,测量曲线如附件图片,两组曲线分别是HfO2+SiO2(蓝色),ZrO2+SiO2(红色),而且都是25层,但是都是0°入射角的设计和测量。很明显,ZrO2在300nm处事有吸收的,所以300-450nm的HR不太建议用ZrO2。
不过难点是45°入射角,R>97%相当难!
而且ZrO2+SiO2不适合在石英玻璃基底上做多层介质膜,因为应力关系,容易膜裂!
向高手们学习,向高手们致敬
楼主最终做出来了吗?
楼主最终做出来了吗?
jb