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光学镀膜技术及膜系设计
› ITO镀多少厚度电阻能达到100欧姆
T-B
发表于 2013-7-10 16:39:44
磁控溅射 250A左右
ghtzna
发表于 2013-7-18 10:17:39
使用什么机器?蒸镀的话25nm,J溅镀23nm 左右,充氧量要控制
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ITO镀多少厚度电阻能达到100欧姆