zouyou828459 发表于 2012-5-24 09:47:07

tfc 发表于 2012-5-24 08:11 static/image/common/back.gif
你一定要用真空来衡量的话，就把始镀真空定到小于2.5乘10的负3帕以下，然后再修正指标，因为我看你发的几贴 ...

你好，谢谢你们的回复，昨天换了机械泵油和扩散泵规管，我发现离子源清洗时充气的大小和以前比较只相差一点点了，机器现在总算回到常态了，呵呵

tfc 发表于 2012-5-24 10:17:29

哟，你们机械泵油都没有定期检查更换的？怪不得绕弯路

zouyou828459 发表于 2012-5-25 12:21:06

tfc 发表于 2012-5-24 10:17 static/image/common/back.gif
哟，你们机械泵油都没有定期检查更换的？怪不得绕弯路

有啊，我记得半个月前才换油
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