fql3310
发表于 2012-6-27 21:10:13
SIO2集中型离子源，可以达到15埃每秒，而且膜层很致密。
gxfdllg
发表于 2013-4-10 09:54:18
fql3310 发表于 2012-6-27 21:10 static/image/common/back.gif
SIO2集中型离子源，可以达到15埃每秒，而且膜层很致密。
谢谢，SIO2蒸发快为什么膜会疏松？
gxfdllg
发表于 2013-4-10 09:56:17
飞鸿腾达 发表于 2012-5-4 20:50 static/image/common/back.gif
这个要看什么材料的哈，如高固态的材料，建议束流低一点，高的话，膜的结构很松不紧密，表面光洁度很粗糙， ...
谢谢，那SIO2蒸发快膜会疏松吗，为什么？
fql3310
发表于 2013-4-10 21:35:49
SIO2蒸发快,膜层也会致密,压应力比一般速率镀的要大点,
飛兲寶赑
发表于 2013-4-16 18:11:01
快了会调膜
xiao2011
发表于 2013-4-16 22:16:45
{:6_147:}
huoredexin
发表于 2018-7-22 10:32:35