fibercoating
发表于 2012-4-27 14:48:46
我也感觉TI3O5有问题，熔料的时候喷的厉害，另外充氧口是对着坩埚边上的，会不会是氧气把坩埚盖板上的脏东西吹起来
新手求教
发表于 2012-4-28 12:17:30
出现麻点是因为膜料的问题
强子
发表于 2012-4-30 20:29:18
楼主留个联系方式吧
jasmine131415
发表于 2012-5-3 10:30:15
学习中....{:6_143:}
weifnafly
发表于 2012-5-4 22:37:02
公司没用过国产机
ghtzna
发表于 2012-5-6 07:05:53
我觉得这种不正常现象和TI没有关系，因为不是每锅都有 建议定期将你的坩埚周围使用酒精擦拭 避免在镀膜前预融时有杂质被电子枪轰击上去
zouyou828459
发表于 2012-5-6 12:49:24
这就是用离子源用不好而出现适得其反效果的原因，从图片上的的分析可以看出，此离子源的功率应要减少，因为那黑点都是TI3O5的吸收斑，我们知道离子源它能够起到一定的催动有吸收性膜料分子的与氧分子的结合能力，而且能增加膜料分子的致密性，当离子源功率太大时，蒸发上去的吸收材料来不及与氧分子结合就被后的膜产分子覆盖掉而出现例如黑班，黄班等等，所以离子源的楼主使用还得好好研究研究啊
fibercoating
发表于 2012-5-9 11:59:00
强子 发表于 2012-4-30 20:29 static/image/common/back.gif
楼主留个联系方式吧
tadmarine@gmail.com
qq:277204240
wdydede
发表于 2012-5-10 01:19:06
AR膜用到TI3O5，学习下
royyang
发表于 2012-6-13 22:09:09
离子枪或是电子枪问题吧