flux 发表于 2004-8-26 22:47:00

如何测试光点间距？

<P>问题是这样： 有两个光点， 光斑大小为10um(微米）, 光斑间距大概是300um， </P>
<P>希望测试精度可以到0.1um以下。请高手替我想想点子， 若有好的点子， 在我能力</P>
<P>范围给予适当的“点子”费。 具体可以和我联系： <a href="mailtflux001@tom.com" target="_blank" >flux001@tom.com</A></P>

mgs6111 发表于 2004-8-29 18:19:00

<b>有浙大的校友吗？</b>

南山王 发表于 2004-8-31 01:42:00

<P>要做到0.1um的测量精度，不是件容易的事。</P><P>需要对点距进行放大，扩大光电间距和光斑直径；</P><P>采用线阵CCD接收放大后的图像；</P><P>关键一点是运用适当的曲线拟合办法推算出光斑的中心位置（光斑图像灰度的峰值点）。</P>

fengxg1974 发表于 2004-9-3 01:30:00

<P>测试精度要低于0.1μm，我认为，这实在太困难了—即使用大数值孔径的光学显微镜＋进口CCD＋数学处理也是未知数。</P><P>可不可以这样呢：让两个光斑同时在光刻胶上曝光、显影，然后利用原子力显微镜测量，读出运动坐标值，既简单，一般也可满足工程要求。</P>

南山王 发表于 2004-9-3 01:41:00

<P><b><FONT color=#000066>fengxg1974</FONT></b></P><P>即使是曝光后测量，用原子力显微镜也难以确定光电的中心位置。</P>

fengxg1974 发表于 2004-9-8 17:01:00

<P>如果光点质量较好（指接近衍射极限镜头。如果光点质量差，我想0.1μm就没意义了），光刻胶曝光、显影后侧壁是很陡直的（0.1μm以下），对两条线的内边距、外边距分别测量，即可算出中心距。当然，这两个光点是否满足工艺条件尚需分析，也不能确定该方法能否达到0.1μm，我个人只是认为该法如果可行，相对简便，精度应接近0.1μm，如果非理论研究，工程上应能满足要求。</P>

xdtang 发表于 2004-9-14 00:09:00

都是高手啊

adamxiong 发表于 2004-9-14 07:27:00

路过学习

bignet 发表于 2004-9-15 20:26:00

<P>这个精度应该可以吧，要不Extreme ultraviolet光刻技术怎么实现</P>
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